UV RADIATION INSPECTION TOOL, UV RADIATION INSPECTION KIT, AND UV RADIATION INSPECTION METHOD

The present invention provides: a UV radiation inspection tool that exhibits superior color formation properties with respect to light having a wavelength of 222 nm even in cases when the irradiation dose of light having a wavelength of 222 nm is low; a UV radiation inspection kit; and a UV radiatio...

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Main Authors IKEDA Kimi, ARIOKA Daisuke
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 01.09.2022
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Summary:The present invention provides: a UV radiation inspection tool that exhibits superior color formation properties with respect to light having a wavelength of 222 nm even in cases when the irradiation dose of light having a wavelength of 222 nm is low; a UV radiation inspection kit; and a UV radiation inspection method. A UV radiation inspection tool according to the present invention has a UV radiation sensitive layer that contains a color former and an acid generating agent, wherein the color former has at least one structure selected from the group consisting of lactone structures, lactam structures, sultone structures, sultine structures, structures obtained by opening the rings of these structures, and azobenzene structures, the acid generating agent has a molecular weight of 600 or less, and the mass ratio of the acid generating agent relative to the color former is 1.01-40.00. La présente invention concerne : un outil d'inspection de rayonnement UV qui présente des propriétés de formation de couleur supérieures par rapport à une lumière ayant une longueur d'onde de 222 nm même dans les cas où la dose d'émission de lumière ayant une longueur d'onde de 222 nm est faible ; un kit d'inspection de rayonnement UV ; et un procédé d'inspection de rayonnement UV. Un outil d'inspection de rayonnement UV selon la présente invention comporte une couche sensible au rayonnement UV qui contient un agent de formation de couleur et un agent de génération d'acide, l'agent de formation de couleur ayant au moins une structure sélectionnée dans le groupe constitué par des structures de lactone, des structures de lactame, des structures de sultone, des structures de sultine, des structures obtenues par l'ouverture des cycles de ces structures, et des structures d'azobenzène, l'agent de génération d'acide a un poids moléculaire de 600 ou moins, et le rapport en masse de l'agent de génération d'acide par rapport à l'agent de formation de couleur est de 1,01 à 40,00. 本発明は、波長222nmの光の照射量が少ない場合にも波長222nmの光に対する発色性に優れる紫外線検査具、紫外線検査キット及び紫外線検査方法を提供する。本発明の紫外線検査具は、発色剤と、酸発生剤とを含む紫外線感知層を有する、紫外線検査具であって、発色剤が、ラクトン構造、ラクタム構造、スルトン構造、スルチン構造及びそれらの開環構造、並びに、アゾベンゼン構造からなる群から選択される少なくとも1つを有し、酸発生剤の分子量が、600以下であり、発色剤の含有量に対する酸発生剤の含有量の質量比が、1.01~40.00である。
Bibliography:Application Number: WO2022JP04341