INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD

• Main Authors: OSHIO Shozo, NITTA Mitsuru, SHIGITANI Ryosuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 25.08.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

This inspection device (100) comprises: a light source (10) including a fluorescent substance; and a photodetector (20), wherein after irradiating an inspection object (30) with inspection light (11) emitted by the light source, reflected light (12) of the inspection light reflected by the inspection object is detected by the photodetector (20). The spectral distribution of the inspection light has at least one maximum value (11A, 11B) derived from the fluorescence emitted by the fluorescent substance, and the maximum value is within the wavelength range of 600-750 nm. When the spectral intensity of the maximum value (11A) having the maximum spectral intensity among at least one maximum values (11A, 11B) is Pmax, the maximum value of the spectral intensity in the wavelength range longer than the wavelength of 750 nm is 20% or more of Pmax and less than Pmax, and the spectral intensity in the wavelength range of 500-550 nm is less than 20% of Pmax. The inspection method includes a step for irradiating the inspection object with the inspection light, and a step for detecting the reflected light of the inspection light reflected by the inspection object. Dispositif d'inspection (100) comprenant : une source de lumière (10) comprenant une substance fluorescente ; et un photodétecteur (20) ; après exposition d'un objet d'inspection (30) à une lumière d'inspection (11) émise par la source de lumière, la lumière réfléchie (12) de la lumière d'inspection réfléchie par l'objet d'inspection est détectée par le photodétecteur (20). La distribution spectrale de la lumière d'inspection présente au moins une valeur maximale (11A, 11B) dérivée de la fluorescence émise par la substance fluorescente, et la valeur maximale est dans la plage de longueurs d'onde de 600 à 750 nm. Lorsque l'intensité spectrale de la valeur maximale (11A) présentant l'intensité spectrale maximale parmi au moins une valeur maximale (11A, 11B) est Pmax, la valeur maximale de l'intensité spectrale dans la plage de longueurs d'onde plus longue que la longueur d'onde de 750 nm fait 20 % ou plus de Pmax et moins que Pmax, et l'intensité spectrale dans la plage de longueurs d'onde de 500 à 550 nm fait moins de 20 % de Pmax. Le procédé d'inspection comprend une étape consistant à exposer l'objet d'inspection à la lumière d'inspection, et une étape consistant à détecter la lumière réfléchie de la lumière d'inspection réfléchie par l'objet d'inspection. 検査装置（１００）は、蛍光体を備える光源（１０）と光検出器（２０）とを備え、光源が放つ検査光（１１）を検査対象物（３０）に照射した後、検査対象物によって反射された検査光の反射光（１２）を光検出器（２０）で検出する。検査光の分光分布は、蛍光体が放つ蛍光に由来する少なくとも一つの極大値（１１Ａ，１１Ｂ）を持ち、当該極大値は６００ｎｍ以上７５０ｎｍ以下の波長範囲内にある。少なくとも一つの極大値（１１Ａ，１１Ｂ）において分光強度が最大である極大値（１１Ａ）の分光強度をＰｍａｘとしたとき、波長７５０ｎｍよりも長波長域の分光強度の最大値はＰｍａｘの２０％以上Ｐｍａｘ未満であり、かつ、５００ｎｍ以上５５０ｎｍ以下の波長範囲内の分光強度はＰｍａｘの２０％未満である。検査方法は、上記検査光を検査対象物に照射する工程と、検査対象物によって反射された検査光の反射光を検出する工程とを有する。