SOLID-STATE IMAGING DEVICE, METHOD FOR MANUFACTURING SOLID-STATE IMAGING DEVICE, AND ELECTRONIC APPARATUS

• Main Authors: NAKAMURA Junichi, BANERJEE Saswatee
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.08.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided are: a solid-state imaging device in which a lens part array can be manufactured without a complicated effort and pixel units are easy to be manufactured, and which can improve lens shift and light condensing characteristics of the lenses; a method for manufacturing the solid-state imaging device; and an electronic apparatus.　A pixel unit 20 includes a pixel array 210 in which a plurality of photoelectric conversion units 2111-2114 are disposed, and a lens part array 220 including a plurality of lens parts LNS 220 that are arranged to correspond to one surface side of the respective photoelectric conversion units 2111 (to 2114) of the pixel array 210, and that condense light incident thereon and make the light enter the correspondingly arranged photoelectric conversion units 2111 (to 2114), wherein, on the light incident surface side of the pixel array 210, the lens part array 220 in which the lens parts LNS 220 are integrally formed is layered on and bonded to an optical film FLM 220 in the Z direction. L'invention concerne : un dispositif d'imagerie à semi-conducteur dans lequel un réseau de parties de lentille peut être fabriqué sans effort complexe et des unités de pixel sont faciles à fabriquer, et qui peut améliorer le décalage de lentille et les caractéristiques de condensation de lumière des lentilles ; un procédé de fabrication du dispositif d'imagerie à semi-conducteurs ; et un appareil électronique.　Une unité de pixel 20 comprend une matrice de pixels 210 dans laquelle sont disposées une pluralité d'unités de conversion photoélectrique 2111-2114, et un réseau de parties de lentille 220 comprenant une pluralité de parties de lentille LNS 220 qui sont agencées pour correspondre à un côté de surface des unités de conversion photoélectrique respectives 2111 (à 2114) de la matrice de pixels 210, et qui condensent la lumière incidente sur celle-ci et font entrer la lumière dans les unités de conversion photoélectrique agencées de manière correspondante 2111 (à 2114), où, sur le côté de la surface d'incidence de lumière de la matrice de pixels 210, le réseau de parties de lentille 220 dans lequel les parties de lentille LNS 220 sont formées d'un seul tenant est stratifié sur un film optique FLM 220 dans la direction Z et lié à celui-ci. レンズ部アレイを煩雑な手間を要することなく製造することが可能で、画素部の製造が容易となり、レンズシフト、レンズの集光特性の改善を図ることが可能な固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法、および電子機器を提供する。　画素部２０は、複数の光電変換部２１１１～２１１４が配置された画素アレイ２１０と、画素アレイ２１０の各光電変換部２１１１（～２１１４）の一面側に対応して配置され、入射した光を集光して対応して配置された光電変換部２１１１（～２１１４）に入射する複数のレンズ部ＬＮＳ２２０を含むレンズ部アレイ２２０とを含み、画素アレイ２１０の光入射面側に、光学フィルムＦＬＭ２２０にレンズ部ＬＮＳ２２０が一体的に形成されたレンズ部アレイ２２０がＺ方向に積層して貼り合わされている。