METHOD AND DEVICE FOR DETECTING FOREIGN SUBSTANCE CONTAINED IN INSPECTION TARGET

• Main Author: NISHIO Kazuaki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.08.2022
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

This method for detecting a specific foreign substance contained in an inspection target includes: acquiring first image data of the inspection target, the first image data having pixels each having a pixel value of a first band group including one or more wavelength bands (S110, S210); determining, using the first image data, one or more pixel regions satisfying a first condition as a first foreign substance region (S120, S230); acquiring second image data of a region including the first foreign substance region, the second image data having pixels each having a pixel value of a second band group including more wavelength bands than the first band group (S152, S260); determining, using the second image data, one or more pixel regions satisfying a second condition different from the first condition as a second foreign substance region where the specific foreign substance exists (S154, S270); and outputting information about the second foreign substance region (S180, S300). La présente invention concerne un procédé de détection d'une substance étrangère spécifique contenue dans une cible d'inspection qui consiste à : acquérir des premières données d'image de la cible d'inspection, les premières données d'image ayant des pixels ayant chacun une valeur de pixel d'un premier groupe de bandes comprenant une ou plusieurs bandes de longueur d'onde (S110, S210) ; déterminer, à l'aide des premières données d'image, une ou plusieurs régions de pixel satisfaisant une première condition en tant que première région de substance étrangère (S120, S230) ; acquérir des secondes données d'image d'une région comprenant la première région de substance étrangère, les secondes données d'image ayant des pixels ayant chacun une valeur de pixel d'un second groupe de bandes comprenant davantage de bandes de longueur d'onde que le premier groupe de bandes (S152, S260) ; déterminer, à l'aide des secondes données d'image, une ou plusieurs régions de pixel satisfaisant une seconde condition différente de la première condition en tant que seconde région de substance étrangère où existe la substance étrangère spécifique (S154, S270) ; et délivrer des informations concernant la seconde région de substance étrangère (S180, S300). 検査対象に含まれる特定の異物を検出する方法は、各画素が、１つ以上の波長バンドを含む第１バンド群についての画素値を有する、前記検査対象についての第１画像データを取得すること（Ｓ１１０、Ｓ２１０）と、前記第１画像データから、第１条件を満たす１つ以上の画素領域を第１異物領域として決定すること（Ｓ１２０、Ｓ２３０）と、各画素が、前記第１バンド群よりも多くの波長バンドを含む第２バンド群についての画素値を有する、前記第１異物領域を含む領域についての第２画像データを取得すること（Ｓ１５２、Ｓ２６０）と、前記第２画像データから、前記第１条件とは異なる第２条件を満たす１つ以上の画素領域を、前記特定の異物が存在する第２異物領域として決定すること（Ｓ１５４、Ｓ２７０）と、前記第２異物領域に関する情報を出力すること（Ｓ１８０、Ｓ３００）と、を含む。