IMAGING DEVICE

• Main Author: HIGANO Shun
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.08.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is an imaging device configured to suppress color mixing between adjacent pixels. This imaging device comprises: a plurality of pixels disposed side by side in a direction parallel to one surface of a semiconductor substrate; a pixel separation part which is provided to the semiconductor substrate and separates adjacent pixels from each other among the plurality of pixels; a color filter provided to the one surface side of the semiconductor substrate; a plurality of convex lenses which are provided to the one surface side of the semiconductor substrate with the color filter therebetween and are disposed side by side in the direction parallel to the one surface; and a concave lens provided to the one surface side of the semiconductor substrate with the color filter and the plurality of convex lenses therebetween. The pixel separation part has: a same-color pixel separation part disposed between adjacent same-color pixels among first color pixels, second color pixels, and third color pixels; and a different-color pixel separation part disposed between adjacent different-color pixels among the first color pixels, the second color pixels, and the third color pixels. The different-color pixel separation part has a trench isolation structure. L'invention concerne un dispositif d'imagerie configuré pour supprimer le mélange de couleurs entre des pixels adjacents. Ce dispositif d'imagerie comprend : une pluralité de pixels disposés côte à côte dans une direction parallèle à une surface d'un substrat semi-conducteur ; une partie de séparation de pixels qui est disposée sur le substrat semi-conducteur et sépare les pixels adjacents les uns des autres parmi la pluralité de pixels ; un filtre coloré disposé sur le côté de surface du substrat semi-conducteur ; une pluralité de lentilles convexes qui sont disposées sur le côté de surface du substrat semi-conducteur avec le filtre coloré entre celles-ci et sont disposées côte à côte dans la direction parallèle à ladite surface ; et une lentille concave disposée sur le côté de surface du substrat semi-conducteur avec le filtre coloré et la pluralité de lentilles convexes entre celles-ci. La partie de séparation de pixels comprend : une partie de séparation de pixels de même couleur disposée entre des pixels de même couleur adjacents parmi des premiers pixels de couleur, des deuxièmes pixels de couleur et des troisièmes pixels de couleur ; et une partie de séparation de pixels de couleur différente disposée entre des pixels de couleur différente adjacents parmi les premiers pixels de couleur, les deuxièmes pixels de couleur et les troisièmes pixels de couleur. La partie de séparation de pixels de couleur différente a une structure d'isolation de tranchée. 隣接する画素間の混色を抑制できるようにした撮像装置を提供する。撮像装置は、半導体基板の一方の面に平行な方向に並んで配置される複数の画素と、半導体基板に設けられ、複数の画素のうちの隣り合う画素間を分離する画素間分離部と、半導体基板の一方の面側に設けられるカラーフィルタと、カラーフィルタを介して半導体基板の一方の面側に設けられ、一方の面に平行な方向に並んで配置される複数の凸型レンズと、カラーフィルタ及び複数の凸型レンズを介して半導体基板の一方の面側に設けられた凹型レンズと、を備える。画素間分離部は、第１色画素、第２色画素及び第３色画素のうち、隣接する同色の画素間に配置される同色画素間分離部と、第１色画素、第２色画素及び第３色画素のうち、隣接する異色の画素間に配置される異色画素間分離部と、を有する。異色画素間分離部は、トレンチアイソレーション構造を有する。