SIGNAL PROCESSING DEVICE FOR X-RAY ANALYSIS

• Main Author: SAITO Yuta
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.08.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION; MEASURING; PHYSICS; TESTING

[Problem] To provide a signal processing device for X-ray analysis, the device being capable of suppressing the effects from an increase in background due to piled-up signals, and suppressing an increase in dead time. [Solution] A signal processing device for X-ray analysis, the device comprising: a differentiation circuit (41) that converts staircase waves detected by an X-ray detector into differential waves; a digital filter (61) that converts the differential waves into trapezoidal waves or the like; and a peak detection unit (72) that discriminates and counts wave-peak values extracted from the peak portions Hf of the trapezoidal waves, wherein a rising threshold Tu to be compared with an rising-side sloped line segment Hu and a falling threshold Td to be compared with a falling-side sloped line segment Hd are set such that Tu>Td, wave-peak values extracted from peak portions of the trapezoidal waves in which the shift magnitude is at least Tu on the rising-side sloped line segment Hu are counted by the peak detection unit, and the detection of the trapezoidal waves is ended at the time when the shift magnitude from a peak portion on the falling-side sloped line segment Hd is at least Td. Le problème à résoudre par la présente invention est de fournir un dispositif de traitement de signal pour une analyse par rayons X, le dispositif étant apte à supprimer les effets d'une augmentation de l'arrière-plan due à des signaux empilés, et de supprimer une augmentation du temps mort. La solution selon l'invention porte sur un dispositif de traitement de signal pour une analyse par rayons X, le dispositif comprenant : un circuit de différenciation (41) qui convertit des ondes en escalier détectées par un détecteur de rayons X en ondes différentielles ; un filtre numérique (61) qui convertit les ondes différentielles en ondes trapézoïdales ou similaires ; et une unité de détection de pic (72) qui différencie et compte des valeurs de pic d'onde extraites des parties de pic Hf des ondes trapézoïdales. Un seuil d'élévation Tu devant être comparé à un segment de ligne inclinée côté élévation Hu et un seuil de chute Td devant être comparé à un segment de ligne inclinée côté chute Hd sont définis de telle sorte que Tu>Td, des valeurs de pic d'onde extraites de parties de pic des ondes trapézoïdales dans lesquelles l'amplitude de décalage est au moins Tu sur le segment de ligne inclinée côté élévation Hu sont comptées par l'unité de détection de pic, et la détection des ondes trapézoïdales est interrompue au moment où l'amplitude de décalage d'une partie de pic sur le segment de ligne inclinée côté chute Hd est au moins Td. 【課題】　パイルアップした信号によるバックグランドが増加する影響を抑えることができるとともに、不感時間が長くなることも抑えたＸ線分析用信号処理装置を提供する。 【解決手段】　Ｘ線検出器で検出された階段波を微分波に変換する微分回路（４１）と、微分波を台形波等に変換するデジタルフィルタ（６１）と、台形波のピーク部分Ｈｆから抽出した波高値を弁別して計数するピーク検出部（７２）とを備えるＸ線分析用信号処理装置であって、　立ち上がり側斜辺Ｈｕと比較する立ち上がり閾値Ｔｕと、立ち下がり側斜辺Ｈｄと比較する立ち下がり閾値ＴｄとがＴｕ＞Ｔｄとなるように設定され、立ち上がり側斜辺ＨｕでＴｕ以上の変動幅となる台形波のピーク部分から抽出した波高値をピーク検出部で計数し、立ち下がり側斜辺Ｈｄでピーク部分からＴｄ以上の変動幅となる時点で台形波の検出を終えるようにする。