X-RAY FLUORESCENCE ANALYSIS DEVICE

• Main Author: SAITO Yuta
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.08.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

[Problem] To provide an X-ray fluorescence analysis device with which it is possible to perform an analysis under a more suitable condition according to the object of analysis. [Solution] A detector 30; preamplifiers 41A, 41B for amplifying a detected signal by different signal amplification factors GA, GB to produce a staircase wave signal; a differential circuit 42 for converting the staircase wave signal to a differential wave signal; an A/D converter 43 for converting the differential wave signal to a digital signal; a signal processing unit 160 for detecting peak values from the digital signal, discriminating and counting the peak values, and creating a histogram; an input unit 51 for setting the energy range of the X-ray fluorescence to be analyzed; and an X-ray fluorescence analysis device 1 for creating an energy spectrum on the basis of the histogram, one of the preamplifiers 41A, 41B being automatically selected on the basis of the maximum energy in the set energy range. Le problème décrit par la présente invention est de fournir un dispositif d'analyse par fluorescence X avec lequel il est possible d'effectuer une analyse dans une condition plus appropriée en fonction de l'objet d'analyse. La solution selon l'invention porte sur un détecteur (30) ; des préamplificateurs (41A, 41B) pour amplifier un signal détecté par différents facteurs d'amplification de signal GA, GB pour produire un signal d'onde en escalier ; un circuit différentiel (42) pour convertir le signal d'onde en escalier en un signal d'onde différentielle ; un convertisseur analogique numérique (43) pour convertir le signal d'onde différentielle en un signal numérique ; une unité de traitement de signal (160) pour détecter des valeurs de pic à partir du signal numérique, discriminer et compter les valeurs de pic, et créer un histogramme ; une unité d'entrée (51) pour définir la plage d'énergie de la fluorescence X à analyser ; et un dispositif d'analyse de fluorescence X (1) pour créer un spectre d'énergie sur la base de l'histogramme, l'un des préamplificateurs (41A, 41B) étant automatiquement sélectionné sur la base de l'énergie maximale dans la plage d'énergie définie. 【課題】　分析対象に応じて、より好ましい条件下での分析が可能となる蛍光Ｘ線分析装置を提供する。 【解決手段】　検出器３０と、検出信号を異なる信号増幅率ＧＡ、ＧＢで増幅して階段波信号にするプリアンプ４１Ａ，４１Ｂと、階段波信号を微分波信号に変換する微分回路４２と、微分波信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器４３と、デジタル信号から波高値を検出し波高値を弁別して計数しヒストグラムを作成する信号処理部１６０と、分析を行う蛍光Ｘ線のエネルギー範囲を設定する入力部５１と、ヒストグラムに基づいてエネルギースペクトルを作成する蛍光Ｘ線分析装置１であって、設定したエネルギー範囲における最大エネルギーに基づいてプリアンプ４１Ａ、４１Ｂのいずれかが自動的に選択されるようにする。