PROCESS FLUID PATH SWITCHING IN RECIPE OPERATIONS

• Main Authors: NEEMA, Chahal, BARYSHNIKOV, Anton, KRIL, Thorsten, STANDISH, Peter, SANGHVI, Mitesh, JAMAKHANDI, Vishal Suresh, KANGUDE, Abhijit Ashok, SHANKARAMURTHY, Venkatanarayana
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 14.07.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTROLLING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PHYSICS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES; SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES

A method includes identifying time values for a length of time to carry out process fluid delivery within multiple processing chambers that concurrently process multiple substrates; translating each time value to a recipe parameter for execution of an operation of a processing recipe; and causing the operation to be performed using each recipe parameter as a control value to control valves of a fluid panel of the multiple processing chambers. For each processing chamber of the multiple processing chambers: causing the process fluid to flow to the processing chamber for a first period of time corresponding to a first time value; and causing the process fluid to flow to a divert foreline of the processing chamber for a second period of time, the second period of time being based on a timestep of the operation and the time value. Un procédé comprend les étapes consistant à identifier des valeurs de temps pendant une durée d'exécution d'une distribution de fluide de traitement dans de multiples chambres de traitement qui traitent simultanément de multiples substrats ; à convertir chaque valeur de temps en un paramètre de recette pour l'exécution d'une opération d'une recette de traitement ; et à amener l'opération à être effectuée en utilisant chaque paramètre de recette comme valeur de commande pour commander des vannes d'un panneau de fluide des multiples chambres de traitement. Pour chaque chambre de traitement des multiples chambres de traitement : le fluide de traitement est fait circuler vers la chambre de traitement pendant une première période de temps correspondant à une première valeur de temps ; et le fluide de traitement est fait circuler vers une conduite de refoulement de dérivation de la chambre de traitement pendant une seconde période de temps, la seconde période de temps étant basée sur un pas temporel de l'opération et la valeur de temps.