MANAGEMENT SYSTEM, MANAGEMENT METHOD, AND MANAGEMENT PROGRAM

• Main Authors: MOKI, Hironori, MATSUZAWA, Takahito, KATAOKA, Yuki, UOYAMA, Kazuya, MORIYA, Tsuyoshi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 30.06.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; CONTROLLING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS ORELEMENTS; PHYSICS; REGULATING; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided are a management system, a management method, and a management program for autonomizing a substrate processing device. This management system for managing a substrate manufacturing process has: a plurality of agents that monitor the status of a substrate processing device executing the substrate manufacturing process and that detect a prescribed event; and a transmission path that, when any of the agents has detected the prescribed event, sends and receives information between the agents on the basis of the detected event. The agents derive an instruction to the substrate processing device on the basis of the information sent and received via the transmission path such that indicator values of the substrate manufacturing process are optimized. L'invention concerne un système de gestion, un procédé de gestion et un programme de gestion pour autonomiser un dispositif de traitement de substrat. Ce système de gestion destiné à gérer un processus de fabrication de substrat comprend : une pluralité d'agents qui surveillent l'état d'un dispositif de traitement de substrat exécutant le processus de fabrication de substrat et qui détectent un événement prescrit ; et une voie de transmission qui, lorsque l'un quelconque des agents a détecté l'événement prescrit, envoie et reçoit des informations entre les agents sur la base de l'événement détecté. Les agents dérivent une instruction au dispositif de traitement de substrat sur la base des informations envoyées et reçues par le biais de la voie de transmission de telle sorte que des valeurs d'indicateur du processus de fabrication de substrat sont optimisées. 基板処理装置を自律化させる管理システム、管理方法及び管理プログラムを提供する。基板製造プロセスを管理する管理システムであって、前記基板製造プロセスを実行する基板処理装置の状態を監視し、所定の事象を検出する複数のエージェントと、いずれかのエージェントにおいて所定の事象が検出された場合に、検出された事象に基づいてエージェント間で情報を送受信する伝送経路と、を有し、前記エージェントは、前記基板製造プロセスの指標値が最適化されるように、前記伝送経路を介して送受信される情報に基づいて、前記基板処理装置への指示を導出する。