PHOTOELECTRIC CONVERSION ELEMENT, LIGHT DETECTION APPARATUS, LIGHT DETECTION SYSTEM, ELECTRONIC DEVICE, AND MOVING BODY

• Main Authors: TAKAHASHI, Shingo, MASUNAGA, Takuya, JOEI, Masahiro, OHBA, Yoshiyuki, KOJIMA, Takashi, ZAIZEN, Yoshifumi, SUGIYAMA, Tomohiro, HIRATA, Shintarou, KAWAHARA, Yuki, MURATA, Kenichi, YUKAWA, Tomiyuki, OKAMOTO, Masaki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 23.06.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION; SEMICONDUCTOR DEVICES

Provided is a photoelectric conversion element having enhanced functionality. The photoelectric conversion element comprises: a semiconductor substrate; a first photoelectric conversion portion provided on the semiconductor substrate to detect light of a first wavelength range and perform photoelectric conversion; a second photoelectric conversion portion provided at a position in the semiconductor substrate overlapping the first photoelectric conversion portion in a thickness direction of the semiconductor substrate, to detect light of a second wavelength range and perform photoelectric conversion; an optical filter disposed between the first photoelectric conversion portion and the second photoelectric conversion portion in the thickness direction, and being more transmissive to the light of the second wavelength range than to the light of the first wavelength range; and a first light blocking member surrounding the optical filter along a plane orthogonal to the thickness direction so that at least a part of the first light blocking member overlaps the optical filter in a planar direction along the plane, the first light blocking member blocking at least the light of the second wavelength range. L'invention concerne un élément de conversion photoélectrique ayant une fonctionnalité avancée. L'élément de conversion photoélectrique comprend : un substrat semi-conducteur ; une première partie de conversion photoélectrique disposée sur le substrat semi-conducteur pour détecter la lumière d'une première plage de longueurs d'onde et effectuer une conversion photoélectrique ; une seconde partie de conversion photoélectrique disposée à une position dans le substrat semi-conducteur chevauchant la première partie de conversion photoélectrique dans une direction d'épaisseur du substrat semi-conducteur, pour détecter la lumière d'une seconde plage de longueurs d'onde et effectuer une conversion photoélectrique ; un filtre optique disposé entre la première partie de conversion photoélectrique et la seconde partie de conversion photoélectrique dans la direction de l'épaisseur, et étant plus transmissif à la lumière de la seconde plage de longueurs d'onde par rapport à la lumière de la première plage de longueurs d'onde ; et un premier élément de blocage de lumière entourant le filtre optique le long d'un plan orthogonal à la direction de l'épaisseur de sorte qu'au moins une partie du premier élément de blocage de lumière chevauche le filtre optique dans une direction plane le long du plan, le premier élément de blocage de lumière bloquant au moins la lumière de la seconde plage de longueurs d'onde. 高い機能を有する光電変換素子を提供する。この光電変換素子は、半導体基板と、その半導体基板上に設けられ、第１の波長域の光を検出して光電変換を行う第１の光電変換部と、半導体基板内のうち半導体基板の厚さ方向において第１の光電変換部と重なる位置に設けられ、第２の波長域の光を検出して光電変換を行う第２の光電変換部と、厚さ方向において第１の光電変換部と第２の光電変換部との間に挟まれており、第１の波長域の光よりも第２の波長域の光が透過しやすい光学フィルタと、厚さ方向と直交する面に沿った面方向において光学フィルタと少なくとも一部が重なり合うように面に沿って光学フィルタを取り囲み、少なくとも第２の波長域の光を遮光する第１の遮光部材とを有する。