DAMPING DEVICE, OPTICAL ASSEMBLY, AND PROJECTION EXPOSURE SYSTEM

• Main Author: SCHOENHOFF, Ulrich
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 23.06.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BLASTING; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; HEATING; HOLOGRAPHY; LIGHTING; MATERIALS THEREFOR; MEANS FOR DAMPING VIBRATION; MECHANICAL ENGINEERING; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SHOCK-ABSORBERS; SPRINGS; THERMAL INSULATION IN GENERAL; WEAPONS

Die Erfindung betrifft eine Dämpfungseinrichtung (1) zur Schwingungsdämpfung zwischen einem optischen Element (2) und einem Bezugskörper (3), aufweisend eine kinematische Baugruppe (5) mit einem Wirbelstromdämpfer (6), die mit einem ersten Verbindungsabschnitt (7) an dem optischen Element (2) und mit einem zweiten Verbindungsabschnitt (8) an dem Bezugskörper (3) befestigbar ist. Die kinematische Baugruppe (5) ist ausgebildet, um die Dämpfungswirkung des Wirbelstromdämpfers (6) zwischen den Verbindungsabschnitten (7, 8) mechanisch zu verstärken. Es ist vorgesehen, dass die kinematische Baugruppe (5) zur Verstärkung der Dämpfung zwischen den Verbindungsabschnitten (7, 8) eine Hebelkinematik ausbildet, wobei zumindest einer der Verbindungsabschnitte eine Gelenkverbindung (G1, G2) aufweist. Alternativ oder zusätzlich ist vorgesehen, dass die kinematische Baugruppe (5) zur Verstärkung der Dämpfung zwischen den Verbindungsabschnitten (7, 8) wenigstens eine Scherenkinematik ausbildet, wobei der Wirbelstromdämpfer (6) zentral innerhalb der Scherenkinematik angeordnet ist. The invention relates to a damping device (1) for vibration damping between an optical element (2) and a reference body (3), the device comprising a kinematic assembly (5), which has an eddy current damper (6) that can be fastened to the optical element (2) by a first connection portion (7) and to the reference body (3) by a second connection portion (8). The kinematic assembly (5) is designed to mechanically increase the damping effect of the eddy current damper (6) between the connection portions (7, 8). According to the invention, the kinematic assembly (5) for increasing the damping between the connection portions (7, 8) forms a kinematic lever mechanism, wherein at least one of the connection portions comprises a hinge connection (G1, G2). Alternatively or additionally, according to the invention the kinematic assembly (5) for increasing the damping between the connection portions (7, 8) forms at least one kinematic scissor mechanism, wherein the eddy current damper (6) is situated centrally within the kinematic scissor mechanism. L'invention concerne un système d'amortissement (1) destiné à l'amortissement des vibrations entre un élément optique (2) et un corps de référence (3), présentant un module cinématique (5) qui, pourvu d'un amortisseur de courant de Foucault (6), est apte à être raccordé à l'élément optique (2) par une première section de liaison (7) et au corps de référence (3) par une deuxième section de liaison (8). Le module cinématique (5) est conçu pour renforcer mécaniquement l'effet d'amortissement de l'amortisseur à courant de Foucault (6) entre les sections de liaison (7, 8). Il est prévu que le module cinématique (5) forme une cinématique de levage pour renforcer l'amortissement entre les sections de liaison (7, 8), au moins une des sections de liaison présentant une liaison articulée (G1, G2). En variante ou en plus, il est prévu que le module cinématique (5) forme au moins une cinématique en ciseaux pour renforcer l'amortissement entre les sections de liaison (7, 8), l'amortisseur à courant de Foucault (6) étant disposé au centre à l'intérieur de la cinématique en ciseaux.