SENSOR DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING SENSOR DEVICE

• Main Authors: NAKATSUMA Kei, TANABE Masayuki, KOBAYASHI Makiko, TANAKA Yuya, TSUTSUMI Kyosuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 09.06.2022
• Subjects: ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

Provided are a sensor device and the like suitable for wiring of a flexible sol-gel composite piezoelectric sensor. In a sensor device 1, a sensor portion 3 and a wiring portion 5 are connected to one another. The sensor portion 3 is a sol-gel composite piezoelectric sensor. The sensor portion 3 is provided with a base material layer, a piezoelectric film layer formed on the base material layer, an electrode layer formed on the piezoelectric film layer, and a protective layer. The protective layer covers the base material layer and the electrode layer, excluding a portion thereof. The wiring portion 5 includes a signal line and a ground line. There is a pressure bonding tip at the tip end of the signal line. An upper exterior portion 7 and a lower exterior portion 9 cover at least the parts of the sensor portion 3 and the wiring portion 5 that are not covered. A pressing portion 11 pressure bonds the pressure bonding tip by pressing the same against the part of the electrode layer not covered by the protective layer. The sensor device can, for example, be attached to an inspection target using an attachment that covers the sensor portion, for example. L'invention concerne un dispositif capteur et similaire approprié pour le câblage d'un capteur piézoélectrique composite sol-gel flexible. Dans un dispositif capteur 1, une partie capteur 3 et une partie câblage 5 sont reliées l'une à l'autre. La partie capteur 3 est un capteur piézoélectrique composite sol-gel. La partie capteur 3 est pourvue d'une couche de matériau de base, d'une couche de film piézoélectrique formée sur la couche de matériau de base, d'une couche d'électrode formée sur la couche de film piézoélectrique, et d'une couche de protection. La couche de protection recouvre la couche de matériau de base et la couche d'électrode, à l'exclusion d'une partie de celle-ci. La partie câblage 5 inclut une ligne de signal et une ligne de masse. Une pointe de liaison par pression est située au niveau de l'extrémité de pointe de la ligne de signal. Une partie extérieure supérieure 7 et une partie extérieure inférieure 9 recouvrent au moins les parties de la partie capteur 3 et de la partie câblage 5 qui ne sont pas recouvertes. Une partie de pression 11 lie par pression la pointe de liaison par pression en pressant celle-ci contre la partie de la couche d'électrode non recouverte par la couche de protection. Le dispositif capteur peut, par exemple, être fixé à une cible d'inspection à l'aide d'une fixation qui recouvre la partie capteur, par exemple. フレキシブル性のあるゾルゲル複合体圧電センサの配線に適したセンサ装置等を提供する。センサ装置１は、センサ部３と配線部５を接続する。センサ部３は、ゾルゲル複合体圧電センサである。基材層と、基材層の上に形成される圧電膜層と、前記圧電膜層の上に形成される電極層と、保護層を備える。保護層は、基材層と電極層の一部を除き被覆する。配線部５は、信号線とグラウンド線を含む。信号線の先端には、圧着チップが存在する。上外装部７及び下外装部９は、センサ部３と配線部５のうち、少なくとも被覆されていない部分を覆う。加圧部１１は、圧着チップを、前記電極層において前記保護層が被覆しない部分に押し付けて圧着する。センサ装置は、例えば、センサ部などを覆うアタッチメントを利用して検査対象に取り付けることができる。