OPTICAL THIN FILM MANUFACTURING METHOD AND OPTICAL THIN FILM

• Main Authors: INOUE Chiaki, NISHIMOTO Keiji
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 09.06.2022
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PHYSICS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

[Problem] To provide an optical thin film manufacturing method such that it is possible to inexpensively manufacture an optical thin film wherein a first thin film part and a second thin film part are divided. [Solution] A method for manufacturing an optical thin film 1 having a first thin film part 10, and a second thin film part 12 having a different film composition than the first thin film part 10, on a film formation surface F of a substrate 2, said method including: a step for forming the first thin film part 10 on a first film formation portion of the film formation surface F; a step for forming a removed-during-cleaning film W that has at least one among a fluff-like structure, a pyramid group-like structure, and a pinholder-like structure, and that is at least one among aluminum and an aluminum compound, on the first thin film part 10; a step for forming a second thin film part 12 on a second film formation portion on the film formation surface F differing from the first film formation portion, and on the first film formation portion on which the first thin film part 10 and the removed-during-cleaning film W have been formed; and a step for removing the removed-during-cleaning film W and the second thin film part 12 thereon via cleaning. Le problème décrit par la présente invention est de fournir un procédé de fabrication de film mince optique de telle sorte qu'il est possible de fabriquer de manière peu coûteuse un film mince optique dans lequel une première partie de film mince et une seconde partie de film mince sont divisées. La solution selon l'invention porte sur un procédé de fabrication d'un film mince optique 1 ayant une première partie de film mince 10, et une seconde partie de film mince 12 ayant une composition de film différente de celle de la première partie de film mince, sur une surface de formation de film F d'un substrat 2, ledit procédé comprenant : une étape de formation de la première partie de film mince 10 sur une première partie de formation de film de la surface de formation de film F ; une étape consistant à former un film W retiré pendant le nettoyage qui a au moins l'une parmi une structure de type peluches, une structure de type groupe pyramidal, et une structure de type porte-pinène, et qui est au moins l'un parmi l'aluminium et un composé d'aluminium, sur la première partie de film mince 10 ; une étape consistant à former une seconde partie de film mince 10 sur une seconde partie de formation de film sur la surface de formation de film F différente de la première partie de formation de film, et sur la première partie de formation de film sur laquelle la première partie de film mince 10 et le film de nettoyage pendant le nettoyage W ont été formés ; et une étape pour retirer le film de nettoyage pendant le nettoyage W et la seconde partie de film mince 12 sur celui-ci par l'intermédiaire d'un nettoyage. 【課題】第１薄膜部と第２薄膜部とが分かれた光学薄膜を低廉に製造可能な光学薄膜の製造方法を提供する。 【解決手段】第１薄膜部１０、及びこれと膜構成が異なる第２薄膜部１２を有する光学薄膜１を、基材２の成膜面Ｆにおいて製造する方法であって、成膜面Ｆにおける第１成膜部分の上に第１薄膜部１０を形成する工程と、第１薄膜部１０の上に、毛羽状構造、ピラミッド群状構造、及び剣山状構造の少なくとも何れかを有するアルミニウム及びアルミニウムの化合物の少なくとも一方である洗浄時除去膜Ｗを形成する工程と、成膜面Ｆにおける第１成膜部分と異なる第２成膜部分の上、及び第１薄膜部１０と洗浄時除去膜Ｗとが形成された第１成膜部分の上に、第２薄膜部１２を形成する工程と、洗浄時除去膜Ｗ及びその上における第２薄膜部１２を洗浄により除去する工程と、を含んでいる。