METROLOGY METHOD AND ASSOCIATED METROLOGY AND LITHOGRAPHIC APPARATUSES

• Main Authors: GOORDEN, Sebastianus, MATHIJSSEN, Simon, RIJPSTRA, Manouk, BRINKHOF, Ralph, BHATTACHARYYA, Kaustuve, KARSSEMEIJER, Leendert
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 02.06.2022
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

Disclosed is a method to determine a performance indicator for a metrology process, comprising obtaining first measurement data relating to a first set of measurement conditions and determining a first measurement recipe based on said first measurement data. The at least one performance indicator is determined from one or more components of said first measurement data obtained from a component analysis or statistical decomposition. Alternatively, the at least one performance indicator is determined from a comparison of one or more first measurement values relating to said first measurement recipe and one or more second measurement values relating to a second measurement recipe, where second measurement recipe is different to said first measurement data and relates a second set of measurement conditions, said second set of measurement conditions being different to said first set of measurement conditions. L'invention divulgue un procédé permettant de déterminer un indicateur de performance pour un processus de métrologie, consistant à obtenir des premières données de mesure relatives à un premier ensemble de conditions de mesure et à déterminer une première recette de mesure sur la base desdites premières données de mesure. Le ou les indicateurs de performance sont déterminés à partir d'une ou plusieurs composantes desdites premières données de mesure obtenues à partir d'une analyse de composantes ou d'une décomposition statistique. En variante, le ou les indicateurs de performance sont déterminés à partir d'une comparaison d'une ou plusieurs premières valeurs de mesure relatives à ladite première formule de mesure et d'une ou plusieurs secondes valeurs de mesure relatives à une seconde formule de mesure, la seconde formule de mesure étant différente desdites premières données de mesure et concernant un second ensemble de conditions de mesure, ledit second ensemble de conditions de mesure étant différent dudit premier ensemble de conditions de mesure.