SYSTEMS AND METHODS FOR RADIOFREQUENCY SIGNAL GENERATOR-BASED CONTROL OF IMPEDANCE MATCHING SYSTEM

• Main Authors: KOZAKEVICH, Felix Leib, LYNDAKER, Bradford J, MARAKHTANOV, Alexei, HOPKINS, David
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 19.05.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

An RF signal supply system for plasma generation includes an RF signal generator, an impedance matching system, and a control module. The RF signal generator includes a control system. The impedance matching system has an input connected to an output of the RF signal generator, an output connected to a plasma processing system, a gamma control capacitor, and a frequency control capacitor. The control module is connected in data communication with each of the RF signal generator and the impedance matching system. The control module is programmed to transmit control signals to the impedance matching system based on corresponding data received from the control system of the RF signal generator, where the control signals direct control of the gamma control capacitor and the frequency control capacitor. The control module is also programmed to transmit data received from the impedance matching system to the control system of the RF signal generator. Un système d'alimentation en signal RF pour une génération de plasma comprend un générateur de signal RF, un système d'adaptation d'impédance et un module de commande. Le générateur de signal RF comprend un système de commande. Le système d'adaptation d'impédance a une entrée connectée à une sortie du générateur de signal RF, une sortie connectée à un système de traitement au plasma, un condensateur de commande gamma, et un condensateur de commande de fréquence. Le module de commande est connecté en communication de données avec chacun du générateur de signal RF et du système d'adaptation d'impédance. Le module de commande est programmé pour transmettre des signaux de commande au système d'adaptation d'impédance sur la base de données correspondantes reçues en provenance du système de commande du générateur de signal RF, les signaux de commande commandant le condensateur de commande gamma et le condensateur de commande de fréquence. Le module de commande est également programmé pour transmettre des données reçues en provenance du système d'adaptation d'Impédance au système de commande du générateur de signal RF.