ELECTRON BEAM APPLICATION DEVICE

• Main Authors: KATANE Junichi, OSE Yoichi, OHSHIMA Takashi, SHICHI Hiroyasu, IDE Tatsuro, MORISHITA Hideo
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 19.05.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present invention automatically performs surface activation of a photocathode in a short amount of time with good reproducibility and without requiring any skill. To this end, an activation mechanism is provided in an activation region (16) of an electron gun (15), the activation mechanism comprising: a light source device (3) that radiates excitation light to a photocathode (1); a heat generating body (6); an oxygen generation part (5) that generates oxygen by heating of the heating body; and an emission current measuring instrument (4) that monitors an emission current which accompanies the release of electrons when the excitation light (2) is radiated from the light source device (3) onto the photocathode (1). In a surface activation process, the excitation light (2) is radiated from the light source device (3) onto the photocathode (1), an emission current amount of the photocathode (1) is monitored by the emission current measuring instrument (4), the heat generating body (6) is heated so that oxygen is generated by the oxygen generation part (5), and the heating of the heat generating body (6) is stopped when the emission current amount of the photocathode (1) has satisfied a prescribed stop criterion. La présente invention réalise automatiquement l'activation de surface d'une photocathode en un temps court avec une bonne reproductibilité et sans nécessiter aucune compétence. A cet effet, un mécanisme d'activation est prévu dans une zone d'activation (16) d'un canon à électrons (15), le mécanisme d'activation comprenant : un dispositif de source de lumière (3) qui rayonne une lumière d'excitation vers une photocathode (1) ; un corps de génération de chaleur (6) ; une partie de génération d'oxygène (5) qui génère de l'oxygène par chauffage du corps chauffant ; et un instrument de mesure de courant d'émission (4) qui surveille un courant d'émission qui accompagne la libération d'électrons lorsque la lumière d'excitation (2) est rayonnée à partir du dispositif de source de lumière (3) sur la photocathode (1). Dans un procédé d'activation de surface, la lumière d'excitation (2) est rayonnée à partir du dispositif de source de lumière (3) sur la photocathode (1), une quantité de courant d'émission de la photocathode (1) est surveillée par l'instrument de mesure de courant d'émission (4), le corps de génération de chaleur (6) est chauffé de telle sorte que l'oxygène est généré par la partie de génération d'oxygène (5), et le chauffage du corps de génération de chaleur (6) est arrêté lorsque la quantité de courant d'émission de la photocathode (1) a satisfait un critère d'arrêt prescrit. フォトカソードの表面活性化を自動で短時間に再現性よく、かつ、熟練を要せず自動で行う。このため、電子銃（１５）の活性化領域（１６）に、フォトカソード（１）に励起光を照射する光源装置（３）と、発熱体（６）と、発熱体の加熱により酸素を発生させる酸素発生部（５）と、フォトカソード（１）に光源装置（３）からの励起光（２）が照射されることによる電子放出に伴うエミッション電流をモニターするエミッション電流測定器（４）と、を備える活性化機構を設け、表面活性化プロセスにおいて、フォトカソード（１）に光源装置（３）からの励起光（２）を照射し、エミッション電流測定器（４）によりフォトカソード（１）のエミッション電流量をモニターし、発熱体（６）を加熱して酸素発生部（５）より酸素を発生させ、フォトカソード（１）のエミッション電流量が所定の停止基準を満たしたときに、発熱体（６）の加熱を停止させる。