ULTRAPURE WATER PRODUCTION SYSTEM AND ULTRAPURE WATER PRODUCTION METHOD

• Main Authors: NOGUCHI Yukio, MIYAZAWA Hiroki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 28.04.2022
• Subjects: CHEMISTRY; METALLURGY; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; SEPARATION; TRANSPORTING; TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE

Provided are an ultrapure water production system and production method that can contribute to the cleaning of a device and to-be-treated water via a simple configuration during the production of ultrapure water in which after ultrapure water has been used, the used ultrapure water containing hydrogen peroxide is reused as to-be-treated water for ultrapure water production. An ultrapure water production system 1 for producing ultrapure water comprises a pretreatment unit 2, a primary pure water production unit 3, and a secondary pure water production unit 4. The ultrapure water production system 1 further comprises: a storage unit 5 that is provided at a stage preceding the pretreatment unit 2 or between the pretreatment unit 2 and the primary pure water production unit 3, and can store raw water or to-be-treated water; a recovery treatment unit 6 that converts used ultrapure water, containing hydrogen peroxide and obtained after use of ultrapure water, into recovered water in which some or all of the hydrogen peroxide is percolated while removing impurities mixed into the used ultrapure water; and a circulation means 7 that sends the recovered water obtained from the recovery treatment unit 6 back to the storage unit 5 so as to circulate said recovered water. L'invention concerne un système de production d'eau ultra-pure et un procédé de production qui peuvent contribuer au nettoyage d'un dispositif et d'une eau à traiter par l'intermédiaire d'une configuration simple pendant la production d'eau ultra-pure dans laquelle après utilisation de l'eau ultra-pure, l'eau ultra-pure utilisée contenant du peroxyde d'hydrogène est réutilisée en tant qu'eau à traiter pour la production d'eau ultra-pure. Un système de production d'eau ultra-pure pour produire de l'eau ultra-pure comprend une unité de prétraitement, une unité de production d'eau pure primaire et une unité de production d'eau pure secondaire. Le système de production d'eau ultra-pure comprend en outre: une unité de stockage qui est disposée à un étage précédant l'unité de prétraitement ou entre l'unité de prétraitement et l'unité de production d'eau pure primaire, et peut stocker de l'eau brute ou de l'eau à traiter; une unité de traitement de récupération qui convertit l'eau ultra-pure utilisée, contenant du peroxyde d'hydrogène et obtenu après l'utilisation d'eau ultra-pure, dans de l'eau récupérée dans laquelle une partie ou la totalité du peroxyde d'hydrogène est percolée tout en éliminant les impuretés mélangées dans l'eau ultra-pure utilisée; et un moyen de circulation 7 qui envoie l'eau récupérée obtenue à partir de l'unité de traitement de récupération 6 à l'unité de stockage 5 de façon à faire circuler ladite eau récupérée. 超純水を使用した後、過酸化水素を含有する使用済超純水を超純水製造の被処理水として再利用する超純水製造において、簡易な構成で、装置及び被処理水の清浄化に寄与し得る、超純水の製造システム及び製造方法を提供する。前処理部２、一次純水製造部３及び二次純水製造部４を有し、超純水を製造するための超純水製造システムであって、前処理部２の前段又は前処理部２と一次純水製造部３の間に設けられ、原水又は被処理水を貯留できる貯留部５と、超純水の使用後に得られる、過酸化水素を含有する使用済超純水を、該使用済超純水中に混入された不純物を除去しつつ、過酸化水素の一部又は全部を透過させて回収水とする回収処理部６と、該回収処理部６から得られる回収水を、貯留部５に返送して循環させる循環手段７と、を有する超純水製造システム１。