WAFER CONTAINER AND SIZE ADAPTION SYSTEM THEREFOR

• Main Authors: LIM, Sin G, MUTHOLIB, Mohamad Z. A, CHUA, Gian P
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 07.04.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A wafer container includes a pod, a door, a wafer cassette with a top wall, a baseplate, and a biasing member. The pod includes side wall(s), a closed end, and an open end. When closed by the door, the baseplate is located between the door and the wafer cassette and the biasing member is compressed between the wafer cassette and the closed end of the pod. A size adaption system for securing a wafer cassette within an internal space of a closed pod includes a baseplate and a biasing member. The baseplate includes at least one of a projection for coupling the baseplate and the wafer cassette and a notch for coupling the baseplate and the door. The biasing member to be disposed in compression between the wafer cassette and a closed end of the pod. Un contenant de tranche comprend une nacelle, une porte, une cassette de tranche présentant une paroi supérieure, une plaque de base et un élément de sollicitation. La nacelle comprend une ou plusieurs parois latérales, une extrémité fermée et une extrémité ouverte. Lorsqu'elle est fermée par la porte, la plaque de base est située entre la porte et la cassette de tranche et l'élément de sollicitation est comprimé entre la cassette de tranche et l'extrémité fermée de la nacelle. Un système d'adaptation de taille servant à fixer une cassette de tranche dans un espace interne d'une nacelle fermée comprend une plaque de base et un élément de sollicitation. La plaque de base comprend au moins une saillie servant à accoupler la plaque de base et la cassette de tranche et une encoche servant à accoupler la plaque de base et la porte. L'élément de sollicitation peut être disposé en compression entre la cassette de tranche et une extrémité fermée de la nacelle.