AXIALLY COOLED METAL SHOWERHEADS FOR HIGH TEMPERATURE PROCESSES

• Main Authors: YAP, Lipyeow, LIND, Gary B, VIKRAMAN, Nivin, WONGSENAKHUM, Panya
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 31.03.2022
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

A base portion of a showerhead is made of a first metallic material, has a first surface including a gas inlet and a second surface, and includes passages. A faceplate is made of a second metallic material and has side surfaces attached to the second surface and has a bottom surface that along with the second surface define a plenum. The faceplate includes walls that extend from the bottom surface upwards through the plenum and that contact the second surface, and outlets arranged along the walls. A heater is disposed in a groove along a periphery of the base portion. A cooling plate is arranged on the first surface and includes a conduit for a coolant. A plate is made of a third material having a lower thermal conductivity than the first and second metallic materials and is arranged between the cooling plate and the base portion. Une partie base d'une pomme de douche est constituée d'un premier matériau métallique, comporte une première surface comprenant une entrée de gaz et une seconde surface, et comprend des passages. Une plaque frontale est constituée d'un deuxième matériau métallique, comporte des surfaces latérales fixées à la seconde surface et comporte une surface inférieure qui, conjointement à la seconde surface, définit un plénum. La plaque frontale comprend des parois qui s'étendent depuis la surface inférieure vers le haut à travers le plénum et qui entrent en contact avec la seconde surface, et des sorties disposées le long des parois. Un élément chauffant est disposé dans une rainure le long d'une périphérie de la partie base. Une plaque de refroidissement est disposée sur la première surface et comprend un conduit pour un fluide de refroidissement. Une plaque est constituée d'un troisième matériau ayant une conductivité thermique inférieure à celle des premier et deuxième matériaux métalliques et est disposée entre la plaque de refroidissement et la partie base.