METHOD FOR PRODUCING COMPOSITION FOR NANOIMPRINT INTERMEDIATE LAYER FORMATION, METHOD FOR PRODUCING LAMINATE, METHOD FOR PRODUCING IMPRINT PATTERN, AND METHOD FOR PRODUCING DEVICE

• Main Authors: HAKAMATA Akihiro, SHIMOJU Naoya
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 31.03.2022
• Subjects: AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDEDFOR; SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; TRANSPORTING; WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE, IN GENERAL

Provided are: a method for producing a composition for nanoimprint intermediate layer formation, the method including a step for filtering a precursor composition 1 including a resin having a polymerizable group by means of a filter, a step for forming a precursor composition 2 by adding a solvent to the precursor composition 1 after the first filtration step, and a step for filtering the precursor composition 2 by means of a filter, wherein the proportion of total solid content in the obtained composition is 0.1-1.0 mass%; a method for producing a laminate using the composition for intermediate layer formation; a method for producing an imprint pattern using the laminate; and a method for producing a device, the method including the method for producing an imprint pattern. L'invention concerne : un procédé de production d'une composition pour la formation d'une couche intermédiaire de nano-impression, le procédé comprenant une étape de filtration d'une composition de précurseur 1 comprenant une résine ayant un groupe polymérisable au moyen d'un filtre, une étape de formation d'une composition de précurseur 2 par ajout d'un solvant à la composition de précurseur 1 après la première étape de filtration, et une étape de filtration de la composition de précurseur 2 au moyen d'un filtre, la proportion de la teneur totale en solides dans la composition obtenue étant de 0,1 à 1,0 % en masse ; un procédé de production d'un stratifié à l'aide de la composition pour la formation de couche intermédiaire ; un procédé de production d'un motif d'impression à l'aide du stratifié ; et un procédé de production d'un dispositif, le procédé comprenant le procédé de production d'un motif d'impression. 重合性基を有する樹脂を含む前駆組成物１をフィルタでろ過する工程と、上記第１のろ過工程後の前駆組成物１に溶剤を添加し、前駆組成物２とする工程と、上記前駆組成物２をフィルタでろ過する工程と、を含み、得られる組成物の全固形分量の割合が０．１～１．０質量％であるナノインプリント用中間層形成用組成物の製造方法、上記中間層形成用組成物を用いた積層体の製造方法、上記積層体を用いたインプリントパターンの製造方法、並びに、上記インプリントパターンの製造方法を含むデバイスの製造方法。