PROGRAMMABLE AND RECONFIGURABLE MASK WITH MEMS MICRO-MIRROR ARRAY FOR DEFECT DETECTION

• Main Authors: WHITESIDE, Bret, YUAN, Hongxing, MAHATDEJKUL, Tim
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.03.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

A defect detection system includes a programmable and reconfigurable digital micro-mirror device (DMD) and at least one optical element. The DMD includes a micro-mirror array with a plurality of micro-mirrors adjustable to achieve a first deflection state or a second deflection state. The DMD is configured to receive incoming light and reflect a first portion of the incoming light into a first light channel corresponding to the first deflection state and a second portion of the incoming light into a second light channel corresponding to the second deflection state. The at least one optical element is optically coupled to the first light channel and the second light channel. The at least one optical element is configured to deflect the first portion of the incoming light to a first imaging lens and a second portion of the incoming light to a second imaging lens. Système de détection de défauts comprenant une matrice de micromiroirs (DMD) programmable et reconfigurable et au moins un élément optique. La DMD comprend un réseau de micromiroirs comprenant une pluralité de micromiroirs réglables pour obtenir un premier état de déviation ou un second état de déviation. La DMD est conçue pour recevoir une lumière entrante et pour réfléchir une première partie de la lumière entrante dans un premier canal de lumière correspondant au premier état de déviation et une seconde partie de la lumière entrante dans un second canal de lumière correspondant au second état de déviation. Ledit élément optique est optiquement couplé au premier canal de lumière et au second canal de lumière. Ledit élément optique est conçu pour dévier la première partie de la lumière entrante vers une première lentille d'imagerie et une seconde partie de la lumière entrante vers une seconde lentille d'imagerie.