INSPECTION METHOD

• Main Authors: MATSUDA, Shunsuke, KOBAYASHI, Shinji
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.03.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING; TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES ORSTRUCTURES; TESTING STRUCTURES OR APPARATUS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR

Provided is an inspection method for determining whether there is any defect in a film-form object 10 being inspected that is provided with a variant circularly polarizing plate. In the present invention, a light source 2, a first phase difference filter 3A, a first phase difference plate 4A, an object 10 being inspected, a second phase difference plate 4B, and a second phase difference filter 3B are positioned on an optical path 9 so as to be lined up in the stated order, and light is caused to impinge thereon to make a determination as to whether there is any defect in a circularly polarizing plate. Next, the first phase difference plate 4A and the second phase difference plate 4B are respectively replaced with a third phase difference plate and a fourth phase difference plate, which have different in-plane phase difference values at a wavelength of 550 nm, and light is again caused to impinge thereon to make a determination as to whether there is any defect in the circularly polarizing plate. Because the first phase difference filter 3A and the second phase difference filter 3B form a crossed Nichol prism, leakage of light from a variant portion of the object 10 being inspected is greatly suppressed, and it is easy to perform inspection near the variant portion. L'invention concerne un procédé d'inspection pour déterminer s'il existe un défaut dans un objet en forme de film 10 étant inspecté qui est pourvu d'une variante de plaque de polarisation circulaire. Dans la présente invention, une source de lumière 2, un premier filtre de déphasage 3A, une première plaque de déphasage 4A, un objet 10 étant inspecté, une seconde plaque de déphasage 4B et un second filtre de déphasage 3B sont positionnés sur un chemin optique 9 de façon à être alignés dans l'ordre indiqué, et la lumière est amenée à être incidente sur celui-ci afin de déterminer s'il existe un défaut dans une plaque de polarisation circulaire. Ensuite, la première plaque de déphasage 4A et la seconde plaque de déphasage 4B sont respectivement remplacées par une troisième plaque de déphasage et une quatrième plaque de déphasage, qui ont des valeurs de déphasage dans le plan différentes à une longueur d'onde de 550 nm, et la lumière est à nouveau amenée à être incidente sur celle-ci afin de déterminer s'il existe un défaut dans la plaque de polarisation circulaire. Du fait que le premier filtre de déphasage 3A et le second filtre de déphasage 3B forment un prisme de Nicol croisé, une fuite de lumière provenant d'une partie variante de l'objet 10 étant inspecté est fortement éliminée, et il est facile d'effectuer une inspection à proximité de la partie variante. 異形の円偏光板を備えるフィルム状の被検査物１０の欠陥の有無を判断する検査方法を提供する。光源２、第１の位相差フィルタ３Ａ、第１の位相差板４Ａ、被検査物１０、第２の位相差板４Ｂ、第２の位相差フィルタ３Ｂを光路９上にこの順に並ぶように配置し、光を入射して円偏光板の欠陥の有無を判断する。次に、第１の位相差板４Ａ及び第２の位相差板４Ｂを、波長５５０ｎｍにおける面内位相差値が異なる第３の位相差板及び第４の位相差板にそれぞれ置き換え、再度光を入射して円偏光板の欠陥の有無を判断する。第１の位相差フィルタ３Ａと第２の位相差フィルタ３Ｂとはクロスニコルとしているので、被検査物１０の異形部分からの光漏れが大幅に抑制され、異形部分の近傍の検査が容易である。