ELASTIC WAVE ELEMENT, LADDER-TYPE FILTER, BRANCHING FILTER, COMMUNICATION DEVICE

• Main Authors: KIMURA, Toshiya, KIKUCHI, Shigeyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.02.2022
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

Provided is an elastic wave element having excellent electrical characteristics. An elastic wave resonator comprises: a piezoelectric substrate including a piezoelectric body and an IDT electrode; a support substrate; and a first intermediate layer. In the first intermediate layer, the atomic ratio of a metal element is larger than the atomic ratio of a metal element in the piezoelectric body, and the atomic ratio of oxygen is smaller than the atomic ratio of oxygen in the piezoelectric body. The thickness of the piezoelectric body is five times or less the maximum pitch of an electrode finger of the IDT electrode. L'invention concerne un élément à ondes acoustiques présentant d'excellentes caractéristiques électriques. Un résonateur à ondes élastiques comprend : un substrat piézoélectrique comprenant un corps piézoélectrique et une électrode IDT ; un substrat de support ; et une première couche intermédiaire. Dans la première couche intermédiaire, le rapport atomique d'un élément métallique est supérieur au rapport atomique d'un élément métallique dans le corps piézoélectrique, et le rapport atomique de l'oxygène est inférieur au rapport atomique de l'oxygène dans le corps piézoélectrique. L'épaisseur du corps piézoélectrique est inférieure à cinq fois ou moins le pas maximal d'un doigt d'électrode de l'électrode IDT. 電気特性の優れた弾性波素子を実現する。弾性波共振子は、圧電体およびＩＤＴ電極を含む圧電基板と、支持基板と、第１中間層とを備える。第１中間層は、金属元素の原子比率が圧電体における金属元素の原子比率よりも大きく、かつ、酸素の原子比率が圧電体における酸素の原子比率より小さい。圧電体の厚みは、ＩＤＴ電極の電極指の最大のピッチの５倍以下である。