DEVICE AND FILM THICKNESS VARIATION INSPECTION METHOD

• Main Author: YOSHIBAYASHI Mitsuji
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.02.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

Provided is a device for inspecting a film 11 that is formed on the surface of a support 10 and that has a transmission band in the wavelength range of 400-750 nm, said device comprising a stage 100 that holds the support 10, a light irradiation system 200 that irradiates the film 11 with light, and an imaging device 300 that receives light reflected by the film 10. The light irradiation system 200 has a light source 201 and a band-pass filter 221. The band-pass filter 221 has a transmission band tb1 that has a transmissivity of not less than 50% and a band width of not less than 30 nm, and a light blocking band sb1 that has a transmissivity of less than 50% and a band width of not less than 80 nm. The transmission band tb1 includes wavelengths in the transmission band of the film. The transmission band tb1 and the light blocking band sb1 are each within the wavelength range of 400-750 nm. Also provided is a film thickness variation inspection method. L'invention concerne un dispositif pour inspecter un film 11 qui est formé sur la surface d'un support 10 et qui présente une bande de transmission dans la plage de longueurs d'onde de 400 à 750 nm, ledit dispositif comprenant une platine 100 qui maintient le support 10, un système d'irradiation de lumière 200 qui irradie le film 11 avec de la lumière, et un dispositif d'imagerie 300 qui reçoit la lumière réfléchie par le film 10. Le système d'irradiation de lumière 200 comporte une source de lumière 201 et un filtre passe-bande 221. Le filtre passe-bande 221 comporte une bande de transmission tb1 qui présente un coefficient de transmission supérieure à 50 % et une largeur de bande supérieure à 30 nm, et une bande de blocage de la lumière sb1 qui présente un coefficient de transmission inférieure à 50 % et une largeur de bande supérieure à 80 nm. La bande de transmission tb1 comprend des longueurs d'onde dans la bande de transmission du film. La bande de transmission tb1 et la bande de blocage de la lumière sb1 se situent chacune dans la gamme de longueurs d'onde de 400 à 750 nm. L'invention concerne également un procédé d'inspection de la variation de l'épaisseur d'un film. 支持体１０の表面に形成された、波長４００～７５０ｎｍの範囲内に透過帯域が存在する膜１１を検査する装置であって、支持体１０を保持するステージ１００と、膜１１に光を照射する光照射システム２００と、膜１０からの反射光を受光する撮像装置３００と、を有する。光照射システム２００は、光源２０１およびバンドパスフィルタ２２１を有し、バンドパスフィルタ２２１は、透過率が５０％以上で帯域幅が３０ｎｍ以上である透過帯域ｔｂ１と、透過率が５０％未満で帯域幅が８０ｎｍ以上である遮光帯域ｓｂ１とを有し、透過帯域ｔｂ１は膜の透過帯域の波長を含み、透過帯域ｔｂ１および遮光帯域ｓｂ１とをそれぞれ波長４００～７５０ｎｍの範囲内に有するフィルタである装置。および、膜厚ムラの検査方法。