MULTI-STAGE PUMPING LINER

• Main Author: TONG, Mingle
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 27.01.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SEMICONDUCTOR DEVICES; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Exemplary semiconductor processing systems may include a pumping system, a chamber body that defines a processing region, and a pumping liner disposed within the processing region. The pumping liner may define an annular member characterized by a wall that defines an exhaust aperture coupled to the pumping system. The annular member may be characterized by an inner wall that defines a plurality of apertures distributed circumferentially along the inner wall. A plenum may be defined in the annular member between interior surfaces of the walls. A divider may be disposed within the plenum, where the divider separates the plenum into a first plenum chamber and a second plenum chamber, wherein the first plenum chamber is fluidly accessible from the apertures defined through the inner wall, and wherein the divider defines at least one aperture providing fluid access between the first plenum chamber and the second plenum chamber. L'invention concerne des exemples de systèmes de traitement de semi-conducteurs qui peuvent comprendre un système de pompage, un corps de chambre qui définit une région de traitement, et un revêtement de pompage disposé à l'intérieur de la région de traitement. Le revêtement de pompage peut définir un élément annulaire caractérisé par une paroi qui définit une ouverture d'échappement couplée au système de pompage. L'élément annulaire peut être caractérisé par une paroi interne qui définit une pluralité d'ouvertures réparties de manière circonférentielle le long de la paroi interne. Un plénum peut être défini dans l'élément annulaire entre des surfaces intérieures des parois. Un diviseur peut être disposé à l'intérieur du plénum, le diviseur séparant le plénum en une première chambre de plénum et une seconde chambre de plénum, la première chambre de plénum étant accessible de manière fluidique à partir des ouvertures définies à travers la paroi interne, et le diviseur définissant au moins une ouverture fournissant un accès fluidique entre la première chambre de plénum et la seconde chambre de plénum.