PLASMA GENERATING DEVICE AND PLASMA PROCESSING SYSTEM

A plasma generating device (100), comprising: at least one positive ion release array (101), comprising a plurality of positive ion releasers (1011) for releasing positive ions; and at least one negative ion release array (102), comprising a plurality of negative ion releasers (1021) for releasing n...

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Main Authors WEI, Caiyi, FANG, Yanbian, XIE, Binping, GUAN, Jiayue, WANG, Liang
Format Patent
LanguageChinese
English
French
Published 27.01.2022
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Summary:A plasma generating device (100), comprising: at least one positive ion release array (101), comprising a plurality of positive ion releasers (1011) for releasing positive ions; and at least one negative ion release array (102), comprising a plurality of negative ion releasers (1021) for releasing negative ions. The positive ion releasers (1011) and the negative ion releasers (1021) comprise electrically conductive micro/nano fiber clusters. L'invention concerne un dispositif de génération de plasma (100), comprenant : au moins un réseau de libération d'ions positifs (101), comprenant une pluralité de moyens de libération d'ions positifs (1011) pour libérer des ions positifs; et au moins un réseau de libération d'ions négatifs (102), comprenant une pluralité de moyens de libération d'ions négatifs (1021) pour libérer des ions négatifs. Les moyens de libération d'ions positifs (1011) et les moyens de libération d'ions négatifs (1021) comprennent des faisceaux de microfibres/nanofibres électriquement conductric
Bibliography:Application Number: WO2021CN107227