METHOD AND APPARATUS FOR MICROMACHINING A SAMPLE USING A FOCUSED ION BEAM

• Main Authors: DEN HOEDT, Sander Vincent, EFFTING, Andries Pieter Johan
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 20.01.2022
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

The invention relates to an apparatus and a method for micromachining samples. The apparatus comprises an integral combination of: a sample holder, a focused ion beam (FIB) exposure system for projecting a FIB onto a first position on the sample, and a light optical microscope (LM), wherein the LM is configured for imaging or monitoring said first position. The method comprises the steps of: - capturing LM images of the sample; - determining a position and physical dimensions of a region of interest in the sample based on the LM images; - establish from the LM images settings of the sample holder and/or the FIB exposure system, for micromachining the sample to bring the region of interest more closer to the surface, and move the sample or the trajectory of the FIB to locate the first position on the sample accordingly, and - activate the FIB for micromachining the sample. La présente invention concerne un appareil et un procédé de micro-usinage d'échantillons. L'appareil comprend une combinaison intégrale de : un porte-échantillon, un faisceau ionique focalisé (FIB) un système d'exposition pour projeter un FIB sur une première position sur l'échantillon, et un microscope optique à lumière (LM), le LM étant conçu pour imager ou surveiller ladite première position. Le procédé comprend les étapes suivantes : - capture d'images LM de l'échantillon ; - détermination d'une position et des dimensions physiques d'une région d'intérêt dans l'échantillon sur la base des images LM ; - établissement à partir des réglages d'images LM du porte-échantillon et/ou du système d'exposition FIB, pour le micro-usinage de l'échantillon pour rapprocher la région d'intérêt de la surface, et déplacement de l'échantillon ou de la trajectoire du FIB pour la localisation de la première position sur l'échantillon en conséquence, et - activation du FIB pour le micro-usinage de l'échantillon.