OPTICAL SCANNING DEVICE AND METHOD FOR DRIVING MICROMIRROR DEVICE

• Main Authors: NISHIURA, Yosuke, NAONO, Takayuki, AOSHIMA, Keisuke
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 20.01.2022
• Subjects: ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION ORRERADIATION OF RADIO WAVES; MEASURING; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; TESTING; TRANSPORTING

This micromirror device is characterized by satisfying the relationship f1<f2, where f1 is the resonance frequency about a first axis and f2 is the resonance frequency about a second axis, and moreover is characterized in that when a mirror part is driven about the first axis and about the second axis simultaneously, the resonance frequency about the first axis changes by ∆f from f1. The mirror part is caused to precess by application of a first drive signal and a second drive signal that have a drive frequency fd satisfying the relationship f1-∆f<fd to a first actuator and a second actuator, respectively. Le dispositif à micromiroir d'après la présente invention est caractérisé en ce qu'il satisfait la relation f1<f2, où f1 est la fréquence de résonance autour d'un premier axe et f2 est la fréquence de résonance autour d'un second axe, et en ce que lorsqu'une partie de miroir est entraînée autour du premier axe et autour du second axe simultanément, la fréquence de résonance autour du premier axe change selon ∆f depuis f1. La partie de miroir est amenée à précessionner en appliquant un premier signal d'entraînement et un second signal d'entraînement qui ont une fréquence d'entraînement fd satisfaisant la relation f1-∆f<fd à un premier actionneur et à un second actionneur respectivement. マイクロミラーデバイスは、第１軸周りの共振周波数をｆ１とし、かつ第２軸周りの共振周波数をｆ２とした場合に、ｆ１＜ｆ２の関係を満たし、ミラー部を第１軸周り及び第２軸周りに同時に駆動した場合に、第１軸周りの共振周波数がｆ１からΔｆだけ変化する特性を有する。第１アクチュエータ及び第２アクチュエータに、ｆ１－Δｆ＜ｆｄの関係を満たす駆動周波数ｆｄを有する第１駆動信号及び第２駆動信号をそれぞれ与えることによりミラー部を歳差運動させる。