VOLTAGE WAVEFORM GENERATOR FOR PLASMA ASSISTED PROCESSING APPARATUSES

• Main Authors: SLAATS, Noud, EVERTS, Jordi
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 20.01.2022
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Voltage waveform generator for plasma assisted processing apparatuses A voltage waveform generator comprises a common node, a voltage waveform generation circuit and a current source. The voltage waveform generation circuit is operably connected to the common node and is configured to apply a voltage signal at the common node. The current source is operably connected to the common node and configured to apply a DC current at the common node. The current source comprises a first switch node connected to the common node through a first inductor, and a first power supply connected to the first switch node. The power supply comprises at least two first voltage nodes, and the current source is operable to switch between the at least two first voltage nodes at the first switch node. L'invention concerne un générateur de forme d'onde de tension qui comprend un nœud commun, un circuit de génération de forme d'onde de tension et une source de courant. Le circuit de génération de forme d'onde de tension est connecté fonctionnellement au nœud commun et est configuré pour appliquer un signal de tension au niveau du nœud commun. La source de courant est connectée fonctionnellement au nœud commun et configurée pour appliquer un courant continu au niveau du nœud commun. La source de courant comprend un premier nœud de commutation connecté au nœud commun par l'intermédiaire d'une première bobine d'induction, et une première alimentation électrique connectée au premier nœud de commutation. L'alimentation électrique comprend au moins deux premiers nœuds de tension, et la source de courant peut fonctionner pour commuter entre lesdits au moins deux premiers nœuds de tension au niveau du premier nœud de commutation.