PIEZOELECTRIC DEVICE

• Main Authors: IKEUCHI, Shinsuke, CHATANI, Munehito
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 23.12.2021
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

A layered part (120) includes, at least above a recess (113), a first single crystal piezoelectric layer (130), a second single crystal piezoelectric layer (140), an intermediate electrode layer (150), a lower electrode layer (160), and an upper electrode layer (170). The first single crystal piezoelectric layer (130) is constituted by material for which a difference in the etching rate occurs on the positive side and negative side of the polarization charge. The polarization charge of the first single crystal piezoelectric layer (130) is negative on the intermediate electrode layer (150) side and positive on the lower electrode layer (160) side. Partie en couches (120) comprenant, au moins au-dessus d'un évidement (113), une première couche piézoélectrique monocristalline (130), une seconde couche piézoélectrique monocristalline (140), une couche d'électrode intermédiaire (150), une couche d'électrode inférieure (160) et une couche d'électrode supérieure (170). La première couche piézoélectrique monocristalline (130) est constituée d'un matériau pour lequel une différence de la vitesse de gravure survient sur le côté positif et le côté négatif de la charge de polarisation. La charge de polarisation de la première couche piézoélectrique monocristalline (130) est négative sur le côté de la couche d'électrode intermédiaire (150) et positive sur le côté de la couche d'électrode inférieure (160). 積層部(１２０)は、少なくとも開口部(１１３)の上方において、第１単結晶圧電体層(１３０)と第２単結晶圧電体層(１４０)と中間電極層(１５０)と下部電極層(１６０)と上部電極層(１７０)とを含む。第１単結晶圧電体層(１３０)は、分極電荷の正側と負側とでエッチングレートに差が生じる材料で構成されている。第１単結晶圧電体層(１３０)の分極電荷は、中間電極層(１５０)側が負、下部電極層(１６０)側が正となっている。