CLEANLINESS MONITOR AND A METHOD FOR MONITORING A CLEANLINESS OF A VACUUM CHAMBER

• Main Authors: JACOBON-EILON, Michal, KRAYVITZ, Igor, RUACH-NIR, Irit, RADEK, Manuel, EYTAN, Guy, SCHULMAN, Magen Yaacov, RUHLE, Sven
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 25.11.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A cleanliness monitor, an evaluation system and a method. The cleanliness monitor may include: a first vacuum chamber, a second vacuum chamber, a molecule collector, a release unit, a mass spectrometer, a manipulator that may be configured to move the molecule collector from the first position to the second position, and an analyzer. The mass spectrometer may have a line of sight to an inner space of the second vacuum chamber. The mass spectrometer may be configured to monitor the inner space of the second vacuum chamber and to generate detection signals that are indicative of a content of the inner space of the second vacuum chamber. A first subset of the detection signals may be indicative of a presence of the at least subset of released organic molecules. The analyzer may be configured to determine, based on the detection signals, the cleanliness of at least one out of (a) the first vacuum chamber, and (b) a tested vacuum chamber. The tested vacuum chamber is fluidly coupled to the first vacuum chamber. Appareil de surveillance de propreté, un système d'évaluation et un procédé. L'appareil de surveillance de propreté peut comprendre : une première chambre à vide, une seconde chambre à vide, un collecteur de molécules, une unité de libération, un spectromètre de masse, un manipulateur pouvant être conçu pour déplacer le collecteur de molécules d'une première position à une seconde position, et un analyseur. Le spectromètre de masse peut présenter une ligne de visée vers un espace interne de la seconde chambre à vide. Le spectromètre de masse peut être conçu pour surveiller l'espace interne de la seconde chambre à vide et pour produire des signaux de détection indiquant une teneur de l'espace interne de la seconde chambre à vide. Un premier sous-ensemble des signaux de détection peut indiquer une présence d'un ou plusieurs sous-ensembles de molécules organiques libérées. L'analyseur peut être conçu pour déterminer, en fonction des signaux de détection, la propreté d'au moins une chambre parmi (a) la première chambre à vide, et (b) une chambre à vide testée. La chambre à vide testée est accouplée de manière fluidique à la première chambre à vide.