DIAGNOSTIC SYSTEM

• Main Authors: ISHIKAWA Masayoshi, YOSHIDA Yasuhiro, SASAJIMA Fumihiro, TAKANO Masami, UEDA Kazuhiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 07.10.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present disclosure proposes a diagnostic system capable of properly identifying the cause of even an error for which multiple factors or multiple compound factors may be accountable. The diagnostic system according to the present disclosure is provided with a learning device for learning at least one of a recipe defining operations of an inspection device, log data describing states of the device, or specimen data describing characteristics of a specimen in association with error types of the device, and estimates the cause of the error by using the learning device (refer to FIG. 4). La présente invention concerne un système de diagnostic permettant d'identifier de manière appropriée la cause d'une erreur pour laquelle de multiples facteurs ou de multiples facteurs composés peuvent être pris en compte. Selon la présente invention, le système de diagnostic comprend un dispositif d'apprentissage permettant d'apprendre au moins un élément parmi une recette définissant des opérations d'un dispositif d'inspection, des données de journal décrivant des états du dispositif ou des données d'échantillon décrivant des caractéristiques d'un échantillon en association avec des types d'erreurs du dispositif, et estime la cause de l'erreur à l'aide du dispositif d'apprentissage (se référer à la FIG. 4). 本開示は、複数の要因、あるいは複数の複合要因が考えられるエラーであっても、適切に原因特定できる診断システムを提案するものである。本開示に係る診断システムは、検査装置の動作を規定したレシピ、前記装置の状態を記述したログデータ、または前記試料の特性を記述した試料データのうち少なくともいずれかを、前記装置のエラーの種類と対応付けて学習する学習器を備え、前記学習器を用いて、前記エラーの原因を推定する（図４参照）。