SUBSTRATE INSPECTION DEVICE

• Main Authors: MATSUKAWA, Toshihide, ISA, Takashi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 30.09.2021
• Subjects: CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS; MEASURING; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; PRINTED CIRCUITS; TESTING

This substrate inspection device comprises: a rotary table having a mounting surface; a rotary table support unit; an attraction mechanism including a suction device and a suction path having one end connected to the suction device and another end positioned on the mounting surface, the attraction mechanism attracting a circuit substrate onto the mounting surface by suctioning gas inside the suction path by the suction device; a flow volume detection unit for detecting the flow volume of gas that flows in a portion of the suction path located inside the rotary table support unit; a flow volume determination unit for determining whether the flow volume of the gas detected by the flow volume detection unit is greater than or equal to a predetermined value; a contactless detection unit for contactlessly detecting the state of arrangement of the circuit substrate on the mounting surface; and an inspection unit for inspecting the circuit substrate in accordance with the results of detection by the flow volume determination unit and the contactless detection unit. Ce dispositif d'inspection de substrat comprend : une table rotative ayant une surface de montage ; une unité de support de table rotative ; un mécanisme d'attraction comprenant un dispositif d'aspiration et un trajet d'aspiration ayant une extrémité reliée au dispositif d'aspiration et une autre extrémité positionnée sur la surface de montage, le mécanisme d'attraction attirant un substrat de circuit sur la surface de montage par aspiration de gaz à l'intérieur du trajet d'aspiration par le dispositif d'aspiration ; une unité de détection de volume d'écoulement pour détecter le volume d'écoulement de gaz qui s'écoule dans une partie du trajet d'aspiration se trouvant à l'intérieur de l'unité de support de table rotative ; une unité de détermination de volume d'écoulement pour déterminer si le volume d'écoulement du gaz détecté par l'unité de détection de volume d'écoulement est supérieur ou égal à une valeur prédéfinie ; une unité de détection sans contact pour détecter sans contact l'état d'agencement du substrat de circuit sur la surface de montage ; et une unité d'inspection pour inspecter le substrat de circuit en fonction des résultats de détection par l'unité de détermination de volume d'écoulement et l'unité de détection sans contact. 基板検査装置は、載置面を有する回転テーブルと、回転テーブル支持部と、吸引装置と、一端側が吸引装置に接続され且つ他端側が載置面に位置する吸引路とを有し、吸引装置によって吸引路内の気体を吸引することにより、回路基板を載置面に吸着する吸着機構と、吸引路において回転テーブル支持部内に位置する部分に流れる気体の流量を検出する流量検出部と、流量検出部によって検出された気体の流量が所定値以上かどうかを判定する流量判定部と、載置面上での回路基板の配置状態を非接触で検出する非接触検出部と、流量判定部及び非接触検出部による検出結果に応じて、回路基板の検査を行う検査部とを有する。