LASER APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING ELECTRONIC DEVICE

• Main Authors: KAKIZAKI, Kouji, SASAKI, Yoichi, MIZOGUCHI, Hakaru
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 23.09.2021
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

A laser apparatus according to an aspect of the present disclosure is provided with: a chamber into which a laser gas is introduced; a pair of electrodes disposed in the chamber; a power supply for applying a voltage across the electrodes; a nozzle structure having an inner passageway for receiving the laser gas and a slit in communication with the inner passageway, the nozzle structure creating a flow of laser gas between the electrodes from the laser gas blown out of the slit; a gas flow path having a suction opening for suctioning the laser gas in the chamber, and guiding the laser gas suctioned from the suction opening to the nozzle structure; and a blower device for blowing the laser gas toward the inner passageway of the nozzle structure via the gas flow path. Un appareil laser selon un aspect de la présente invention comprend : une chambre dans laquelle un gaz laser est introduit ; une paire d'électrodes disposées dans la chambre ; une alimentation électrique pour appliquer une tension aux bornes des électrodes ; une structure de buse ayant un passage interne pour recevoir le gaz laser et une fente en communication avec le passage interne, la structure de buse créant un flux de gaz laser entre les électrodes à partir du gaz laser soufflé hors de la fente ; un trajet d'écoulement de gaz ayant une ouverture d'aspiration pour aspirer le gaz laser dans la chambre, et guider le gaz laser aspiré depuis l'ouverture d'aspiration vers la structure de buse ; et un dispositif de soufflage pour souffler le gaz laser vers le passage interne de la structure de buse par l'intermédiaire du trajet d'écoulement de gaz. 本開示の一観点に係るレーザ装置は、内部にレーザガスが導入されるチャンバと、チャンバ内に配置された一対の電極と、電極間に電圧を印加する電源と、レーザガスを受け入れる内部通路及び内部通路に通じたスリットを有し、スリットから吹き出されるレーザガスによって電極間にレーザガスの流れを生じさせるノズル構造体と、チャンバ内のレーザガスを吸い込む吸入口を有し、吸入口から吸い込んだレーザガスをノズル構造体へと導くガス流路と、ガス流路を通じてノズル構造体の内部通路に向けてレーザガスを送風する送風装置と、を備える。