PARTICLE BEAM SYSTEM HAVING A MULTI-POLE LENS SEQUENCE FOR INDEPENDENTLY FOCUSSING A MULTIPLICITY OF INDIVIDUAL PARTICLE BEAMS, ITS USE AND ASSOCIATED METHOD

• Main Authors: FRITZ, Hans, PREIKSZAS, Dirk, MAJOR, András G
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 23.09.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Particle beam system comprising the following: a multiple beam particle source which is configured to generate a multiplicity of charged individual particle beams (3); a multi-pole lens sequence (600) with at least one first multi-pole lens array (601) and with at least one second multi-pole lens array (602), wherein the first multi-pole lens array (601) comprises a multiplicity of individually adjustable first multi-pole lenses for generating first quadrupole fields (Q1) and is arranged in the beam path of the particles in such a way that the individual particle beams (3) substantially pass through the first multi-pole lens array (601) and wherein the second multi-pole lens array (602) comprises a multiplicity of individually adjustable second multi-pole lenses for generating second quadrupole fields (Q2) and is arranged in the beam path of the particles so that the individual particle beams (3) which pass through the first multi-pole lens array (601) substantially also pass through the second multi-pole lens array (602); and a controller (10) which is configured to control the multi-pole lenses of the multi-pole lens sequence in such a way that related groups of multi-pole lenses of the multi-pole lens sequence through which the same individual particle beam (3) passes in each case altogether exert an individually adjustable and focussing effect on the respective individual particle beam (3) passing therethrough. Le système de faisceau de particules comprend les éléments suivants : une source de particules à faisceaux multiples qui est configurée pour générer une multiplicité de faisceaux de particules individuelles chargées (3) ; une séquence de lentilles multipolaires (600) avec au moins un premier réseau de lentilles multipolaires (601) et au moins un second réseau de lentilles multipolaires (602), le premier réseau de lentilles multipolaires (601) comprenant une pluralité de premières lentilles multipolaires ajustables individuellement pour générer des premiers champs quadripolaires (Q1) et est disposé dans le trajet du faisceau des particules de telle sorte que les faisceaux de particules individuels (3) passent sensiblement à travers le premier réseau de lentilles multipolaires (601) et le second réseau de lentilles multipolaires (602) comprenant une pluralité de secondes lentilles multipolaires ajustables individuellement pour générer des seconds champs quadripolaires (Q2) et est disposé dans le trajet de faisceau des particules de telle sorte que les faisceaux de particules individuels (3) qui passent à travers le premier réseau de lentilles multipolaires (601) sensiblement également à travers le second réseau de lentilles multipolaires (602) ; et un dispositif de commande (10) qui est configuré pour commander les lentilles multipolaires de la séquence de lentilles multipolaires de telle sorte que des groupes associés de lentilles multipolaires de la séquence de lentilles multipolaires à travers lesquels le même faisceau de particules individuelles (3) passent, dans chaque cas, appliquent tous ensemble un effet ajustable individuellement et de focalisation sur le faisceau de particules individuel respectif (3) passant à travers celui-ci.