SYSTEM AND METHOD FOR ANALYZING A SAMPLE WITH A DYNAMIC RECIPE BASED ON ITERATIVE EXPERIMENTATION AND FEEDBACK

• Main Authors: MILO, Renan, BEN DAVID, Nir, VOLKOVICH, Roie, YAZIV, Tal, GOLOTSVAN, Anna
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 29.07.2021
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

A system for analyzing one or more samples includes a sample analysis sub-system configured to perform one or more measurements on the one or more samples. The system further includes a controller configured to: receive design of experiment (DoE) data for performing the one or more measurements on the one or more samples; determine rankings for a set of target parameters; generate a recipe for performing the one or more measurements on the one or more samples based on the DoE data and the rankings of the set of target parameters; determine run parameters based on the recipe; perform the one or more measurements on the one or more samples, via the sample analysis sub-system, according to the recipe; and adjust the run parameters based on output data associated with performing the one or more measurements on the one or more samples. L'invention concerne un système permettant d'analyser au moins un échantillon, comprenant un sous-système d'analyse d'échantillon configuré pour effectuer au moins une mesure sur ledit échantillon au moins. Le système selon l'invention comprend également un contrôleur configuré pour : recevoir des données de conception d'expérience (DoE) pour effectuer ladite mesure au moins sur ledit échantillon au moins ; à déterminer des classements pour un ensemble de paramètres cibles ; à générer une recette pour effectuer ladite mesure au moins sur ledit échantillon au moins, en fonction des données DoE et des classements de l'ensemble de paramètres cibles ; à déterminer des paramètres d'exécution en fonction de la recette ; à effectuer ladite mesure au moins sur ledit échantillon au moins, par l'intermédiaire du sous-système d'analyse d'échantillon, selon la recette ; et à régler les paramètres d'exploitation en fonction de données de sortie associées à la réalisation de ladite mesure au moins sur ledit échantillon au moins.