CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND INSPECTION DEVICE

• Main Authors: SUZUKI Makoto, SHINTANI Atsuko, KAWADA Hiroki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 29.07.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

According to the present invention, the effect of widening of a temporal signal caused by signal processing delay of a detector, i.e., blurring of an image in the scanning direction, is eliminated. For this purpose, provided is a charged particle beam device having: a charged particle optical system; a detector that detects secondary charged particles discharged due to the interaction of the charged particle beam and a sample, and outputs a detection signal; and a computation unit that scans the charged particle beam over the sample in two dimensions, corrects first image data based on the detection signal outputted from the detector, and generates second image data, the computation unit using a first signal profile that corresponds to the signal strength distribution in n first directions extracted from the first image data, and the power spectrum density P(f) (f: spatial frequency) of a window function that corresponds to the signal processing delay of the detector, to generate the second image data. Selon la présente invention, l'effet d'élargissement d'un signal temporel provoqué par le retard de traitement de signal d'un détecteur, c'est-à-dire le flou d'une image dans la direction de balayage, est éliminé. À cette fin, un dispositif à faisceau de particules chargées selon l'invention comprend : un système optique à particules chargées ; un détecteur qui détecte des particules chargées secondaires déchargées suite à l'interaction du faisceau de particules chargées et d'un échantillon, et émet un signal de détection ; et une unité de calcul qui balaie le faisceau de particules chargées sur l'échantillon en deux dimensions, corrige les premières données d'image en fonction du signal de détection émis par le détecteur, et génère des secondes données d'image, l'unité de calcul faisant intervenir un premier profil de signal qui correspond à la distribution d'intensité de signal dans n premières directions extraites des premières données d'image, ainsi que la densité de spectre de puissance P (f) (f : fréquence spatiale) d'une fonction fenêtre qui correspond au retard de traitement de signal du détecteur, de manière à générer les secondes données d'image. 検出器の信号処理遅延に起因する時間的な信号の広がりの影響、すなわち走査方向の画像のぼけを解消する。このため、荷電粒子線装置は、荷電粒子光学系と、荷電粒子線とサンプルとの相互作用により放出される二次荷電粒子を検出して検出信号を出力する検出器と、サンプル上で荷電粒子線を２次元に走査し、検出器から出力される検出信号に基づく第１の画像データを補正して第２の画像データを生成する演算部とを有し、演算部は、第１の画像データから抽出されるｎ個の第１の方向の信号強度分布に相当する第１の信号プロファイルと検出器における信号処理遅延に相当する窓関数のパワースペクトル密度Ｐ（ｆ）（ｆ：空間周波数）とを用いて第２の画像データを生成する。