ADVANCED IN-LINE PART AVERAGE TESTING

• Main Authors: VON DEN HOFF, Mike, PRICE, David W, LIM, Alex, DONZELLA, Oreste, SUTHERLAND, Doug, GROOS, Thomas, ROBINSON, John C, CAPPEL, Robert, SAVILLE, Barry, SHERMAN, Kara L, RATHERT, Robert J, BHATTI, Naema
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 15.07.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

An inspection system may include a controller communicatively coupled to one or more in-line sample analysis tools including, but not limited to, an inspection tool or a metrology tool. The controller may identify defects in a population of dies based on data received from at least one of the one or more in-line sample analysis tools, assign weights to the identified defects indicative of predicted impact of the identified defects on reliability of the dies using a weighted detectivity model, generate detectivity scores for the dies in the population by aggregating the weighted defects in the respective dies in the population, and determine a set of outlier dies based on the detectivity scores for the dies in the population, wherein at least some of the set of outlier dies are isolated from the population. Un système d'inspection peut comprendre un dispositif de commande couplé en communication à un ou plusieurs outils d'analyse d'échantillon en ligne comprenant, mais sans y être limités, un outil d'inspection ou un outil de métrologie. Le dispositif de commande peut identifier des défauts dans une population de puces sur la base des données reçues d'au moins l'un desdits outils d'analyse d'échantillon en ligne, peut attribuer des poids aux défauts identifiés indicatifs d'un impact prédit des défauts identifiés sur la fiabilité des puces à l'aide d'un modèle de détectivité pondéré, peut générer des scores de détectivité des puces dans la population par agrégation des défauts pondérés dans les matrices respectives dans la population, et peut déterminer un ensemble de matrices aberrantes sur la base des scores de détectivité des puces dans la population, au moins une partie de l'ensemble de puces aberrantes étant isolée de la population.