SUBSTRATE INSPECTION DEVICE

• Main Authors: SATOU Yoshihiro, MASUDA Toshio, YAZAKI Akio, OHTSUBO Kenshiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.07.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

The purpose of the present invention is to provide a substrate inspection device that increases the flatness of a substrate during inspection, and improves the detection sensitivity of foreign matter. Therefore, the present invention is a substrate inspection device provided with a turntable on which a substrate to be inspected is mounted, and a clamp mechanism that holds the substrate on the turntable. The substrate inspection device is characterized in that the clamp mechanism has an abutting part that moves in an in-plane direction of the substrate and presses the substrate. Preferably, the abutting part contacts or separates from an outer peripheral side surface of the substrate by rotating centered on a rotational axis in an out-of-plane direction of the substrate. L'objectif de la présente invention est de fournir un dispositif d'inspection de substrat qui augmente la planéité d'un substrat pendant l'inspection, et améliore la sensibilité de détection de matière étrangère. Par conséquent, la présente invention est un dispositif d'inspection de substrat comportant un plateau tournant sur lequel un substrat à inspecter est monté, et un mécanisme de serrage qui maintient le substrat sur le plateau tournant. Le dispositif d'inspection de substrat est caractérisé en ce que le mécanisme de serrage a une partie de butée qui se déplace dans une direction dans le plan du substrat et presse le substrat. De préférence, la partie de butée entre en contact ou se sépare d'une surface latérale périphérique externe du substrat par rotation centrée sur un axe de rotation dans une direction hors du plan du substrat. 本発明の目的は，検査時の基板の平坦度を高め，異物の検出感度を向上させた基板検査装置を提供することにある。そのために，本発明は，検査対象の基板が装着されるターンテーブルと，前記基板を前記ターンテーブルに保持するクランプ機構と，を備えた基板検査装置において，前記クランプ機構は，前記基板の面内方向に移動して前記基板を押圧する当接部を有することを特徴とする。望ましくは，前記当接部は，前記基板の面外方向の回転軸を中心に回転することで，前記基板の外周側面と接触又は離間するものである。