METHOD AND MANIPULATION DEVICE FOR HANDLING SAMPLES

• Main Author: DEN HOEDT, Sander Vincent
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 17.06.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The invention relates to an assembly comprising a manipulation device and a cooling unit. The manipulation device comprises a holder for samples and a thermal mass member which is arranged in thermal contact with the holder. The manipulation device is configured to place the manipulation device in a heat exchange position wherein the in thermal mass member is in thermal contact with the cooling unit, and to move the manipulation device from the heat exchange position to a manipulation position wherein the thermal mass member is thermally separated from the cooling unit. The invention further relates to an inspection apparatus of focused ion beam apparatus comprising such an assembly, and a method of using such an assembly. L'invention concerne un ensemble comprenant un dispositif de manipulation et une unité de refroidissement. Le dispositif de manipulation comprend un support pour échantillons et un élément de masse thermique qui est disposé en contact thermique avec le support. Le dispositif de manipulation est conçu pour placer le dispositif de manipulation dans une position d'échange de chaleur dans laquelle l'élément de masse thermique est en contact thermique avec l'unité de refroidissement, et pour déplacer le dispositif de manipulation de la position d'échange de chaleur à une position de manipulation dans laquelle l'élément de masse thermique est séparé thermiquement de l'unité de refroidissement. L'invention concerne en outre un appareil d'inspection d'un appareil à faisceau d'ions focalisé comprenant un tel ensemble, et un procédé d'utilisation d'un tel ensemble.