PLASMA DEVICE

• Main Author: IKEDO, Toshiyuki
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.06.2021
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

Provided is a plasma device in which a gas supply tube can be protected from an engagement tab.　This plasma device comprises: a plasma head that uses a processing gas and ejects a plasma gas; a gas supply unit that supplies the processing gas to the plasma head; a gas supply tube that supplies the processing gas from the gas supply unit to the plasma head, the tip end section of the gas supply tube being connected to the plasma head and the base end section of the gas supply tube being connected to the gas supply unit; an attachment member that has an engagement tab for engaging with the gas supply tube, and attaches the gas supply tube to the plasma head by causing the engagement tab to engage with the gas supply tube; and a rotation restricting member that restricts rotation of the gas supply tube at a position further to the base end side of the gas supply tube in comparison to the location where the gas supply tube is engaged with the engagement tab. L'invention fournit un dispositif à plasma qui permet de protéger un tube d'alimentation en gaz d'un onglet d'engagement.　Le dispositif à plasma de l'invention est équipé : d'une tête de plasma qui met en œuvre un gaz traité, et de laquelle jaillit un gaz plasma ; d'une unité alimentation en gaz qui alimente la tête de plasma en gaz traité ; du tube d'alimentation en gaz dont une partie extrémité avant est connectée à la tête de plasma, dont une partie extrémité de base est connectée à l'unité alimentation en gaz, et qui alimente la tête de plasma en gaz traité provenant de l'unité alimentation en gaz ; d'un élément installation qui possède l'onglet d'engagement s'engageant sur le tube d'alimentation en gaz, et qui installe le tube d'alimentation en gaz sur la tête de plasma par engagement de l'onglet d'engagement sur le tube d'alimentation en gaz ; et d'un élément de régulation de rotation qui régule la rotation du tube d'alimentation en gaz, côté extrémité de base du tube d'alimentation en gaz par rapport à la position d'engagement avec l'onglet d'engagement. ガス供給チューブを係合爪から保護できるプラズマ装置を提供すること。　プラズマ装置は、処理ガスを用いてプラズマガスを噴出するプラズマヘッドと、プラズマヘッドに処理ガスを供給するガス供給ユニットと、先端部をプラズマヘッドに接続され、基端部をガス供給ユニットに接続され、ガス供給ユニットからプラズマヘッドへ処理ガスを供給するガス供給チューブと、ガス供給チューブに係合する係合爪を有し、係合爪をガス供給チューブに係合させることでガス供給チューブをプラズマヘッドに対して取り付ける取付部材と、係合爪に係合される位置に比べてガス供給チューブの基端側において、ガス供給チューブの回転を規制する回転規制部材と、を備える。