PLASMA APPARATUS

• Main Authors: IKEDO, Toshiyuki, JINDO, Takahiro
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.06.2021
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OFNEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMICBEAMS

Provided is a plasma apparatus in which it is possible to achieve a stronger fixation of a cable with respect to a plasma head.　This plasma apparatus is equipped with: a plasma head which supplies electric power to an electrode so as to generate a plasma gas; a head transfer device which moves the plasma head; an electric power cable which has an apical end thereof connected to the electrode and a base end thereof connected to a power source unit, and through which electric power is supplied to the electrode from the power source unit; a first regulation member which is mounted to the plasma head and which regulates the movement of the electric power cable relative to the plasma head; and a second regulation member that is provided to the apical end side of the electric power cable as compared with the position of the first regulation unit, that is attached to the plasma head, and that regulates the movement of the electric power cable relative to the plasma head. L'invention fournit un dispositif à plasma permettant de fixer de manière plus solide un câble sur une tête de plasma.　Le dispositif à plasma de l'invention est équipé : de la tête de plasma qui alimente une électrode en puissance électrique, et qui génère un gaz plasma ; d'un dispositif de déplacement de tête déplaçant la tête de plasma ; d'un câble électrique dont une partie extrémité avant est électriquement connectée, dont une partie extrémité de base est connectée à une unité alimentation électrique, et qui alimente l'électrode en puissance électrique provenant de l'unité alimentation électrique ; d'un premier élément régulation qui est installé sur la tête de plasma, et qui régule le déplacement relatif du câble électrique vis-à-vis de la tête de plasma ; et d'un second élément régulation qui est agencé côté extrémité avant du câble électrique par rapport à la position du premier élément régulation, qui est installé sur la tête de plasma, et qui régule le déplacement relatif du câble électrique vis-à-vis de la tête de plasma. プラズマヘッドに対してケーブルをより強固に固定できるプラズマ装置を提供すること。　プラズマ装置は、電極に電力を供給しプラズマガスを発生させるプラズマヘッドと、プラズマヘッドを移動させるヘッド移動装置と、先端部を電極に接続され、基端部を電源ユニットに接続され、電源ユニットとから電極へ電力を供給する電力ケーブルと、プラズマヘッドに取り付けられ、プラズマヘッドに対する電力ケーブルの相対的な移動を規制する第１規制部材と、第１規制部材の位置に比べて電力ケーブルの先端側に設けられ、プラズマヘッドに取り付けられ、プラズマヘッドに対する電力ケーブルの相対的な移動を規制する第２規制部材と、を備える。