IMPEDANCE TRANSFORMATION IN RADIO-FREQUENCY-ASSISTED PLASMA GENERATION

• Main Authors: JUCO, Eller Y, LEESER, Karl Frederick, KONKOLA, Paul, FREDERICK, Thomas Lee
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.06.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

An apparatus for providing signals to a device may include one or more radiofrequency signal generators, and electrically-small transmission line, which couples signals from the one or more RF signal generators to the fabrication chamber. The apparatus may additionally include a reactive circuit to transform impedance of the electrically-small transmission line from a region of relatively high impedance-sensitivity to region of relatively low impedance-sensitivity. L'invention concerne un appareil permettant de fournir des signaux à un dispositif et pouvant comprendre un ou plusieurs générateurs de signaux radiofréquences et une ligne de transmission électriquement petite, qui couple des signaux provenant du ou des générateurs de signaux RF à la chambre de fabrication. L'appareil peut en outre comprendre un circuit réactif pour transformer l'impédance de la ligne de transmission électriquement petite d'une région de sensibilité à l'impédance relativement élevée à une région de sensibilité à l'impédance relativement faible.