ADHESIVE FILM FORMATION COMPOSITION, ADHESIVE FILM, LAMINATE, PRODUCTION METHOD FOR LAMINATE, PRODUCTION METHOD FOR PATTERN, AND PRODUCTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT

• Main Authors: HAKAMATA Akihiro, SHIMOJU Naoya
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.04.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; COMPOSITIONS BASED THEREON; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LAYERED PRODUCTS; LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT ORNON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM; MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVINGCARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS; METALLURGY; ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; TRANSPORTING

An adhesive film formation composition that is for imprinting. The adhesive film formation composition includes a resin that has side chains that have specific aromatic rings and polymerizable functional groups. The specific aromatic rings are unsubstituted aromatic rings or aromatic rings that have one or more substituents that each have a formula weight of no more than 1000. Less than 3 mol% of the polymerizable functional groups are polymerizable functional groups that include a heterocycle. An adhesive film, a laminate, a production method for a laminate, a production method for a pattern, and a production method for a semiconductor element that make use of the adhesive film formation composition. L'invention concerne une composition de formation de film adhésif qui est destinée à des fins de repiquage. La composition de formation de film adhésif comprend une résine qui a des chaînes latérales qui ont des noyaux aromatiques spécifiques et des groupes fonctionnels polymérisables. Les noyaux aromatiques spécifiques sont des noyaux aromatiques non substitués ou des noyaux aromatiques qui ont un ou plusieurs substituants qui ont chacun un poids de formule ne dépassant pas 1000. Moins de 3 % en moles des groupes fonctionnels polymérisables sont des groupes fonctionnels polymérisables qui comprennent un hétérocycle. L'invention concerne également un film adhésif, un stratifié, un procédé de production pour un stratifié, un procédé de production pour un motif, et un procédé de production d'un élément à semi-conducteur qui utilisent la composition de formation de film adhésif. 特定の芳香環および重合性官能基を側鎖に有する樹脂を含み、上記特定の芳香環が、無置換の芳香環であるか、または、１以上の置換基を有する芳香環であって前記１以上の置換基の式量がそれぞれ１０００以下である芳香環であり、上記重合性官能基において、ヘテロ環を含む重合性官能基の割合が３モル％未満である、インプリント用の密着膜形成用組成物、上記密着膜形成用組成物を応用した密着膜、積層体、積層体の製造方法、パターンの製造方法および半導体素子の製造方法。