DICING DEVICE AND METHOD

• Main Authors: TSUSHIMA, Takeo, SHIMIZU, Tasuku, FUKAYA, Hironori, ARAI, Yusuke, TAKEDA, Kuniyoshi
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 01.04.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS; GRINDING; MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; PERFORMING OPERATIONS; POLISHING; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

Provided are: a dicing device and method capable of preventing interference between a blade and a jig when performing dicing processing and also capable of securing throughput. The dicing method comprises: a form measurement step for measuring a form of a work (W); an alignment step of acquiring measurement results of the form of the work, and performing, on the basis of the acquired measurement result, alignment between the work and the jig such that a line (CT1) that follows an intended dividing line (CL1) of the work and that has a breadth corresponding to a blade width of a blade (32) for performing dicing processing of the work, fits within a jig groove (G1) of a jig (J1); and a step of adsorption holding of the work with a jig and for performing dicing processing of the work along the intended dividing line. L'invention concerne : un dispositif et un procédé de découpage en dés permettant d'empêcher des interférences entre une lame et un gabarit lors de la réalisation d'un traitement de découpage en dés et également aptes à sécuriser un débit. Le procédé de découpage en dés comprend : une étape de mesure de forme pour mesurer une forme d'une pièce (W) ; une étape d'alignement consistant à acquérir des résultats de mesure de la forme de la pièce et à effectuer, sur la base du résultat de mesure acquis, un alignement entre la pièce et le gabarit, de sorte qu'une ligne (CT1) qui suit une ligne de division prévue (CL1) de la pièce et qui a une largeur correspondant à une largeur de lame d'une lame (32) pour effectuer un traitement de découpage en dés de la pièce, s'adapte à l'intérieur d'une rainure de gabarit (G1) d'un gabarit (J1) ; et une étape de maintien par adsorption de la pièce avec un gabarit et de réalisation d'un traitement de découpage en dés de la pièce le long de la ligne de division prévue. ダイシング加工時におけるブレードと治具との干渉を防止することが可能であり、かつ、スループットを確保することが可能なダイシング装置及び方法を提供する。ダイシング方法は、ワーク（Ｗ）の形状を測定する形状測定ステップと、ワークの形状の測定結果を取得し、取得した測定結果に基づいて、ワークの分割予定ライン（ＣＬ１）に沿うライン（ＣＴ１）であって、ワークのダイシング加工を行うためのブレード（３２）の刃厚に対応する太さのラインが治具（Ｊ１）の治具溝（Ｇ１）に収まるように、ワークと治具とのアライメントを行うアライメントステップと、ワークを治具により吸着保持して、ワークに対して分割予定ラインに沿ってダイシング加工を行うステップとを含む。