SELF-ASSEMBLY APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR LIGHT-EMITTING ELEMENTS

• Main Authors: RHO, Junghun, CHOI, Bongwoon, YANG, Inbum, JUNG, Imdeok
• Format: Patent
• Language: English; French; Korean
• Published: 25.03.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

According to an embodiment of the present invention, a self-assembly apparatus for semiconductor light-emitting elements comprises a substrate chuck that supports and positions a substrate in an assembly position, wherein the substrate chuck sucks gas present between the substrate and fluid or injects gas when the substrate is loaded or unloaded. Selon un mode de réalisation de la présente invention, un appareil d'auto-assemblage pour des éléments électroluminescents à semi-conducteur comprend un mandrin de substrat qui supporte et positionne un substrat dans une position d'assemblage, le mandrin de substrat aspirant le gaz présent entre le substrat et le fluide ou injectant du gaz lorsque le substrat est chargé ou déchargé. 본 발명의 실시예에 따르면, 반도체 발광소자의 자가조립 장치는, 조립 챔버 내 구비되며, 기판을 지지하여 상기 기판을 조립 위치에 배치시키는 기판 척을 포함하고, 기판 척은 기판 로딩 및 언로딩 시 기판과 유체 사이에 존재하는 기체를 흡입하거나 기체를 주입하는 것을 특징으로 한다.