GAS ABSORPTION SPECTROSCOPY DEVICE AND GAS ABSORPTION SPECTROSCOPY METHOD

• Main Author: MANO Kazune
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 25.03.2021
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

[Problem] To provide a gas absorption spectroscopy device capable of measuring gas concentration and the like at high accuracy even when a measurement target gas is contaminated with gas other than the measurement target gas. [Solution] This gas absorption spectroscopy device is provided with: a wavelength-variable light source; a light source control unit for changing the wavelength of the light source; a gas cell to which gas being measured, the gas including the measurement target gas and contamination gas other than the measurement target gas, is introduced; a light detector for detecting the optical intensity of light having passed through the gas cell; a spectrum creation unit for creating an absorption spectrum of the gas being measured from a change of the optical intensity in response to the change of a wavelength; a physical quantity measurement unit for measuring the temperature and/or the concentration of the measurement target gas on the basis of the absorption spectrum of the measurement target gas; a gas concentration measurement unit for measuring the concentration of the contamination gas; and a physical quantity correction unit for, on the basis of the concentration of the contamination gas, correcting the temperature and/or the concentration of the measurement target gas measured by the physical quantity measurement unit. Le problème à résoudre par la présente invention est de fournir un dispositif de spectroscopie d'absorption de gaz pouvant mesurer une teneur en gaz et similaire avec une précision élevée même lorsqu'un gaz cible de mesure est contaminé par un gaz autre que le gaz cible de mesure. La solution de l'invention porte sur un dispositif de spectroscopie d'absorption de gaz comprenant : une source de lumière à longueur d'onde variable ; une unité de commande de source de lumière permettant de modifier la longueur d'onde de la source de lumière ; une cellule à gaz vers laquelle est introduit un gaz mesuré, le gaz comprenant le gaz cible de mesure et le gaz de contamination autre que le gaz cible de mesure ; un détecteur de lumière permettant de détecter l'intensité optique de la lumière ayant traversé la cellule à gaz ; une unité de création de spectre permettant de créer un spectre d'absorption du gaz mesuré à partir d'un changement de l'intensité optique en réponse au changement d'une longueur d'onde ; une unité de mesure de quantité physique permettant de mesurer la température et/ou la teneur en gaz cible de mesure en fonction du spectre d'absorption du gaz cible de mesure ; une unité de mesure de teneur en gaz permettant de mesurer la teneur en gaz de contamination ; et une unité de correction de quantité physique permettant, en fonction de la teneur en gaz de contamination, de corriger la température et/ou la teneur en gaz cible de mesure mesurée par l'unité de mesure de quantité physique. 【課題】測定対象ガスに測定対象ガス以外のガスが混入しているような場合であっても、精度の高いガス濃度等の測定が可能なガス吸収分光装置を提供する。 【解決手段】ガス吸収分光装置が、波長可変の光源と、光源の波長を変化させる光源制御部と、測定対象ガスと該測定対象ガス以外の混入ガスとを含む被測定ガスが導入されるガスセルと、ガスセルを通過した後の光の光強度を検出する光検出器と、波長の変化に対する光強度の変化から被測定ガスの吸収スペクトルを作成するスペクトル作成部と、測定対象ガスの吸収スペクトルに基づき測定対象ガスの温度と濃度の少なくとも一方を測定する物理量測定部と、混入ガスの濃度を測定するガス濃度測定部と、混入ガスの濃度に基づき物理量測定部で測定された測定対象ガスの温度と濃度の少なくとも一方を補正する物理量補正部と、を備える。