SYSTEMS, DEVICES, AND METHODS FOR CONTAMINANT RESISTANT INSULATIVE STRUCTURES
Embodiments of systems, devices, and methods relate to an electrode standoff isolator. An example electrode standoff isolator includes a plurality of adjacent insulative segments positioned between a proximal end and a distal end of the electrode standoff isolator. A geometry of the adjacent insulat...
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Format | Patent |
Language | English French |
Published |
11.03.2021
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Summary: | Embodiments of systems, devices, and methods relate to an electrode standoff isolator. An example electrode standoff isolator includes a plurality of adjacent insulative segments positioned between a proximal end and a distal end of the electrode standoff isolator. A geometry of the adjacent insulative is configured to guard a surface area of the electrode standoff isolator against deposition of a conductive layer of gaseous phase materials from a filament of an ion source.
L'invention concerne des modes de réalisation de systèmes, de dispositifs et de procédés se rapportant à un isolateur d'écartement d'électrode. Un isolateur d'écartement d'électrode donné à titre d'exemple comprend une pluralité de segments isolants adjacents, positionnés entre une extrémité proximale et une extrémité distale de l'isolateur d'écartement d'électrode. Une géométrie de l'isolant adjacent est conçue pour protéger une zone de surface de l'isolateur d'écartement d'électrode contre le dépôt d'une couche conductrice de substances en phase gazeuse à partir d'un filament d'une source d'ions. |
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Bibliography: | Application Number: WO2020US48459 |