TRANSMISSION ELECTRON MICROSCOPE AND IMAGING METHOD

• Main Authors: KAWAMOTO, Hiroki, YAGUCHI, Toshie, TAMURA, Keiji
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.03.2021
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present invention addresses the problem of simplifying an operation to be performed when imaging an electron diffraction figure by using a transmission electron microscope. To solve the problem, the present invention comprises: a detector on which an electron diffraction figure is projected; a zero-order wave mask which can be inserted and removed between a sample and the detector; and a current detector which can be inserted into and removed from a zero-order wave detection region in a state in which the mask is inserted. The current amount of electron beams emitted to the mask is measured in real time, and the measured result is automatically reflected in the setting of an imaging condition of an imaging camera provided in the transmission electron microscope. La présente invention aborde le problème de simplification d'une opération à effectuer lors de l'imagerie d'une figure de diffraction d'électrons à l'aide d'un microscope électronique à transmission. Pour résoudre le problème, la présente invention comprend : un détecteur sur lequel une figure de diffraction d'électrons est projetée ; un masque d'onde d'ordre zéro qui peut être inséré et retiré entre un échantillon et le détecteur ; et un détecteur de courant qui peut être inséré dans une région de détection d'onde d'ordre zéro et retiré de celle-ci dans un état dans lequel le masque est inséré. La quantité de courant de faisceaux d'électrons émis vers le masque est mesurée en temps réel, et le résultat mesuré est automatiquement réfléchi dans le réglage d'un état d'imagerie d'une caméra d'imagerie disposée dans le microscope électronique à transmission. 透過電子顕微鏡を用いて電子回折図形を撮像する際に行う操作を簡便化する。その解決手段として、電子回折図形が投影される検出器と、試料と当該検出器との間に挿抜可能な、０次波用のマスクと、当該マスクが挿入されている状態での０次波の検出領域に挿抜可能な電流検出器とを設ける。当該マスクに照射される電子線の電流量をリアルタイムに測定し、その測定結果を、透過電子顕微鏡に備えられた撮像用カメラの撮像条件の設定に自動的に反映させる。