PIEZO-ELECTRIC ELEMENT

A piezo-electric element 10 is provided with: a piezo-electric element part 12 including a piezo-electric film 14 and electrodes 16 which nip the piezo-electric film 14 in a thickness direction Z; a support part 18 which supports a peripheral edge section E1 of the piezo-electric element part 12; an...

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Main Authors TESHIGAHARA, Akihiko, YAMADA, Hideo, MIZUTANI, Atsushi, KUCHIJI, Hiroyuki, MASUMOTO, Naoki
Format Patent
LanguageEnglish
French
Japanese
Published 11.02.2021
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Summary:A piezo-electric element 10 is provided with: a piezo-electric element part 12 including a piezo-electric film 14 and electrodes 16 which nip the piezo-electric film 14 in a thickness direction Z; a support part 18 which supports a peripheral edge section E1 of the piezo-electric element part 12; and a stretching film 22. The stretching film 22 is provided in an oscillation region E2 located inward of the peripheral edge section E1 of the piezo-electric element part 12. Furthermore, the stretching film 22 is more stretchable than the piezo-electric element part 12. Un élément piézoélectrique (80) est pourvu : d'une partie élément piézoélectrique (12) comprenant un film piézoélectrique (14) et des électrodes (16) qui séparent le film piézoélectrique (14) dans une direction d'épaisseur Z ; une partie support (18) qui supporte une section de bord périphérique E1 de la partie élément piézoélectrique (12) ; et un film étirable(22). Le film étirable (22) est disposé dans une région d'oscillation E2 située à l'intérieur de la section de bord périphérique E1 de la partie élément piézoélectrique (12). En outre, le film étirable (22) est plus étirable que la partie élément piézoélectrique (12). 圧電素子10は、圧電膜14と、圧電膜14を厚み方向Zに挟む電極16と、を有する圧電素子部12と、圧電素子部12の周縁部E1を支持する支持部18と、伸縮膜22と、を備える。伸縮膜22は、圧電素子部12の周縁部E1の内側の振動領域E2に設けられている。また、伸縮膜22は、圧電素子部12より伸縮性が高い。
Bibliography:Application Number: WO2020JP28931